قاع جامع الطلاء كذا

أن أشباه الموصلات النقش هي الشركة المصنعة ملتزمة بتوفير جودة عاليةCVD TAC طلاءو CVD SIC Coating Colitector Bottom ويعملون عن كثب مع معدات Aixtron لتلبية احتياجات عملائنا. سواء كان ذلك في تحسين العملية أو تطوير المنتجات الجديدة ، فنحن على استعداد لتزويدك بالدعم الفني والإجابة على أي أسئلة قد تكون لديكم.

وظيفة المنتج الأساسية

ضمان استقرار العملية

التحكم في درجة الحرارة: ± 1.5℃/cm@1200℃

تحسين مجال التدفق: تصميم القناة الخاص يجعل توحيد توزيع غاز التفاعل يصل إلى 92.6 ٪

آلية حماية المعدات

الحماية المزدوجة:

المخزن المؤقت للصدمة الحرارية: الصمود 10 ℃/s تغيير درجة الحرارة السريعة

اعتراض الجسيمات: محاصرة> 0.3 ميكرون من جزيئات الرواسب

في مجال التكنولوجيا المتطورة

مراقبة جودة العملية بأكملها

نظام التتبع الإنتاج

مصدر المواد الخام: Tokai/Toyo Graphite من اليابان ، SGL Graphite من ألمانيا

المراقبة التوأم الرقمية: تتم مطابقة كل مكون مع قاعدة بيانات معلمة عملية مستقلة

سيناريو التطبيق:

الجيل الثالث تصنيع أشباه الموصلات

السيناريو: نمو الحالة الفائقة 6 بوصة (100-150μm التحكم في سماكة)

نموذج متوافق: Aixtron G5 WW/Crius II

باستخدام Aixtron SIC Collector Top ، يمكن تحقيق Collector Center و SIC المغلفة ، والإدارة الحرارية والحماية الكيميائية في عمليات تصنيع أشباه الموصلات ، ويمكن تحسين بيئة نمو الفيلم ، ويمكن تحسين جودة واتساق الفيلم. يضمن مزيج هذه المكونات في معدات Aixtron ظروف عملية مستقرة وإنتاج أشباه الموصلات الفعال.

بيانات SEM لفيلم CVD SIC