طلاء TAC الفرعية

حق النقض المغطى بالشكلات النمطوية TAC المغلفة وTAC المغلفةجرسالعمل معًا في مفاعل النمو الفوقي للسيليكون LPE:

● مقاومة درجات الحرارة العالية: الطلاء TACيتمتع Sumcepcedor بمقاومة ممتازة في درجات الحرارة العالية ، وقادر على تحمل درجات الحرارة القصوى التي تصل إلى 1500 درجة مئوية فيمفاعل LPE. هذا يضمن أن المعدات والمكونات لا تشوه أو تتضرر أثناء التشغيل على المدى الطويل.

● الاستقرار الكيميائي: يقوم SociTor Coating Coating بشكل جيد بشكل استثنائي في بيئة نمو كربيد السيليكون المسببة للتآكل ، مما يحمي بفعالية مكونات المفاعل من الهجوم الكيميائي المسبق ، وبالتالي تمديد عمر خدمتهم.

● الاستقرار الحراري: يتمتع Sacceptor TAC بالاستقرار الحراري الجيد ، حيث يحافظ على التشكل السطحي وخشونة لضمان توحيد حقل درجة الحرارة في المفاعل ، وهو مفيد للنمو عالي الجودة لطبقات سليبيد السيليكون.

● مكافحة التلوث: يمكن أن يقلل السطح المطلي بـ TAC المغطى بـ TAC وأداء TPD (امتصاص درجة الحرارة المبرمجة) من تراكم الجزيئات والشوائب داخل المفاعل ، مما يمنع تلوث الطبقات الفوقية.

باختصار ، يلعب Sountor المغلفة TAC و Ring دورًا وقائيًا حاسمًا في مفاعل النمو الفوقي للسيليكون LPE ، مما يضمن التشغيل المستقر على المدى الطويل للمعدات والنمو عالي الجودة للطبقات الفوقية.