حلقة التركيز الصلبة SiC

6. مجالات التطبيق الرئيسية

7. المزايا الأساسية لحلقة التركيز الصلبة Veteksemi من SiC

مقاومة ممتازة للتآكل البلازما

في ظل التعرض لفترات طويلة للبلازما شديدة التآكل وعالية الكثافة مثل CF4 وO2 وCl2، تكون المواد التقليدية عرضة للتآكل السريع والتلوث بالجسيمات. تُظهر حلقة التركيز المركزة المصنوعة من السيليكون الصلب مقاومة ممتازة للتآكل، مع معدل تآكل أقل بكثير من المواد مثل الكوارتز أو الألومينا. وهذا يعني أنها تحافظ على سطح أملس بمرور الوقت، مما يقلل بشكل كبير من مخاطر عيوب الرقاقة الناتجة عن تآكل المكونات، مما يضمن إنتاجًا ضخمًا مستمرًا ومستقرًا.

استقرار ممتاز في درجات الحرارة العالية وأداء الإدارة الحرارية

تولد عملية النقش بأشباه الموصلات حرارة كبيرة، مما يتسبب في تعرض مكونات الغرفة لتقلبات كبيرة في درجات الحرارة. تتميز حلقات التركيز لدينا بمعامل تمدد حراري منخفض للغاية، وقادرة على تحمل درجات حرارة عابرة تصل إلى 1600 درجة مئوية دون تشقق أو تشوه. علاوة على ذلك، تساعد الموصلية الحرارية العالية المتأصلة في تشتيت الحرارة بالتساوي وبسرعة، مما يحسن توزيع درجة الحرارة بشكل فعال على حافة الرقاقة، وبالتالي يعززتوحيد النقش واتساق الأبعاد الحرجة عبر الرقاقة بأكملها.

نقاء المواد غير عادية والكثافة الهيكلية

نحن نتحكم بشكل صارم في نقاء المواد الخام من كربيد السيليكون (≥99.999٪) ونزيل التلوث المعدني أثناء عملية التلبيد لتلبية المتطلبات الصارمة لعمليات التصنيع المتقدمة للتحكم في الشوائب النزرة. يتمتع الهيكل الكثيف المتكون من خلال التلبيد بدرجة حرارة عالية بمسامية منخفضة للغاية، مما يمنع بشكل كامل تقريبًا اختراق غازات المعالجة والمنتجات الثانوية. وهذا يمنع تدهور الأداء ونمو الجسيمات الناتج عن تدهور المواد الداخلية، مما يضمن بيئة غرفة معالجة نقية.

عمر ميكانيكي طويل الأمد وفعالية شاملة من حيث التكلفة

بالمقارنة مع المواد الاستهلاكية التقليدية التي تتطلب استبدالًا متكررًا، توفر حلقات التركيز Veteksemi الصلبة من SiC متانة استثنائية. إنها تحافظ على أداء مستقر طوال فترة الخدمة، مما يؤدي إلى تمديد دورات الاستبدال عدة مرات. ولا يؤدي هذا إلى تقليل تكاليف شراء قطع الغيار بشكل مباشر فحسب، بل يعمل أيضًا على تحسين استخدام الماكينة بشكل كبير عن طريق تقليل وقت توقف المعدات عن الصيانة، مما يؤدي إلى مزايا تكلفة إجمالية كبيرة للعملاء.

التحكم الدقيق في الحجم وخدمات التخصيص المرنة

نحن نفهم المتطلبات الدقيقة للآلات والعمليات المختلفة للمواد الاستهلاكية. تخضع كل حلقة تركيز لتصنيع دقيق واختبار صارم لضمان تفاوت الأبعاد الحرج ضمن ±0.05 مم. نحن نقدم أيضًا خدمات مخصصة، بما في ذلك الأحجام المخصصة، والتشطيبات السطحية (التلميع إلى Ra ≥ 0.2μm)، وتعديلات الموصلية لتتناسب تمامًا مع متطلبات العملية المحددة وسيناريوهات التطبيق.

للحصول على المواصفات الفنية التفصيلية أو المستندات التقنية أو ترتيبات اختبار العينات، يرجى الاتصال بفريق الدعم الفني لدينا لاستكشاف كيف يمكن لـ Veteksemi تعزيز كفاءة العملية لديك.