منتجات
ذراع روبوت كربيد السيليكون
  • ذراع روبوت كربيد السيليكونذراع روبوت كربيد السيليكون
  • ذراع روبوت كربيد السيليكونذراع روبوت كربيد السيليكون

ذراع روبوت كربيد السيليكون

تم تصميم ذراعنا الروبوتية كربيد السيليكون (SIC) لمعالجة رقاقة عالية الأداء في تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. مصنوعة من كربيد السيليكون عالي النقاء ، يوفر هذا الذراع الآلي مقاومة استثنائية لدرجات الحرارة العالية ، وتآكل البلازما ، والهجوم الكيميائي ، مما يضمن تشغيل موثوق في بيئات الغرفة النظيفة. تتيح قوتها الميكانيكية الاستثنائية واستقرار الأبعاد التعامل الدقيق للسكن مع تقليل مخاطر التلوث ، مما يجعلها خيارًا مثاليًا لتطبيقات MOCVD ، و Epitaxy ، وزرع أيون ، وغيرها من تطبيقات معالجة الويفر الحرجة. نرحب باستفساراتك.

ARM Robotic Carbide من CARBIDE من Veteksemon هو حل معالجة أشباه الموصلات المتطورة المصمم خصيصًا للبيئات الصناعية القاسية. باستخدام تقنية مواد كربيد السيليكون عالية النقاء ، فإنه يدل على الاستقرار والمتانة الاستثنائية في درجات الحرارة العالية ، والبيئات المسببة للتآكل ، وظروف الفراغ العالية للغاية. كمكون رئيسي في معالجة الويفر والحفر والترسب ، فإن ذراعنا الآلية يحسن بشكل كبير الإنتاجية ويقلل من تكاليف الصيانة.


ⅰ. المعلمات الفنية


مشروع
المعلمة
مادة
عالي نقاء كذا
صلابة السطح
2800-3200 HV
سعة التحميل
3 كجم/5 كجم/10 كجم (مواصفات مختلفة متاحة)
الموصلية الحرارية
الموصلية الحرارية
المقاومة
10^3-10^5 Ω ؛ سم
بيئة قابلة للتطبيق
ارتفاع درجة الحرارة ، البلازما ، الغاز التآكل ، الفراغ الفائق عالية
كرر دقة تحديد المواقع
± 0.02mm

ⅱ. Veteksemicon السيليكون كربيد روبوت ذراع الأساس


1. تحمل البيئة الشديدة

يستخدم ذراع الروبوت لدينا طلاء SIC المصمم بشكل فريد يخضع لعمليات ترسب عالية في درجة الحرارة العالية ، مما يتيح له الحفاظ على السلامة الهيكلية في درجات حرارة مستدامة من 1500 درجة مئوية ويقاوم بشكل فعال التآكل من قصف البلازما والبيئات الحمضية القلوية القوية. هذا يعالج بشكل أساسي نقاط الألم للمواد التقليدية المعرضة للشيخوخة ولها عمر قصير في ظل ظروف عمل متطرفة.


2. خصائص ميكانيكية ممتازة

من خلال تبني بنية مركبة من ركيزة الجرافيت وطلاء كذا ، حققنا صلابة تتجاوز بكثير المواد المعدنية مع ضمان أن يكون الذراع خفيف الوزن للغاية. يضمن هذا التصميم أن تشوه ذراع الروبوت صغير للغاية أثناء الحركة المتبادلة عالية السرعة ، مما يثبط بشكل فعال ، مما يسيطر بحزم على دقة تحديد المواقع المتكررة في ± 0.02 مم ، مما يضمن انتقالًا آمنًا للرسامات الدقيقة.


3. نظافة عالية عالية

نحن نفهم أن تلوث الجسيمات هو القاتل الأول للعائد. لذلك ، يخضع كل ذراع روبوت للتلميع الدقيق والمعالجة السطحية المتخصصة ، مما يؤدي إلى حدوث خشونة على السطح أقل من 0.1μm. يلتزم الطلاء بشكل آمن ، مما يمنع أي خطر من التقشير. منتجاتنا هي 5 ٪ تم اختبارها للنظافة ، وتتمكن من متطلبات غرفة التنظيف عالية للغاية وجاهزة للاستخدام في خطوط الإنتاج الحديثة.


4. خدمة الخدمة الطويلة

بفضل صلابة SIC المتأصلة في 3000 HV ومقاومة التآكل الممتازة ، تجربة أذرع الروبوت لدينا الحد الأدنى من تدهور الأداء حتى بعد عشرات الآلاف من دورات الحركة. تتمثل عمر خدمتهم عدة مرات في مكونات سبيكة السيراميك أو الألومنيوم العادية ، مما يقلل بشكل كبير من وقت التوقف عن الاستبدال والصيانة ، مما يوفر فعالية تكلفة إجمالية كبيرة لعملائنا.


ⅲ. حقول التطبيق الرئيسية


اتجاه التطبيق
سيناريو نموذجي
Sتصنيع أشباه الموصلات
معالجة الرقاقة ونقلها وتحديد المواقع
أدى الإنتاج
مكونات غرفة تفاعل MOCVD
صناعة الكهروضوئية
PECVD ، عملية الانتشار
الفضاء
المعالجة الآلية في بيئات اختبار درجة الحرارة العالية

تغطي التحقق من السلسلة الإيكولوجية للسيليكون الروبوت في Peteksemicon ، ويغطي المواد الخام للإنتاج ، وقد أصدرت شهادة قياسية دولية ، ولديها عدد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان موثوقيتها واستدامتها في أشباه الموصلات ومجالات الطاقة الجديدة. مرحبًا بك في استشارةنا في أي وقت.


Veteksemicon products shop

الكلمات الساخنة: ذراع روبوت كربيد السيليكون
إرسال استفسار
معلومات الاتصال
  • عنوان

    طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين

  • بريد إلكتروني

    anny@veteksemi.com

للاستفسارات حول طلاء كربيد السيليكون، طلاء كربيد التنتالوم، الجرافيت الخاص أو قائمة الأسعار، يرجى ترك بريدك الإلكتروني لنا وسنكون على اتصال خلال 24 ساعة.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept