حاملة قوارب ويفر SiC عالية النقاء

يعتبر حامل قارب رقاقة SiC عالي النقاء VeTekSemi مكونًا مهمًا يستخدم في أفران التلدين وأفران الانتشار وغيرها من المعدات في عملية تصنيع أشباه الموصلات. عادةً ما يتم تصنيع حاملة القارب برقاقة SiC عالية النقاء من مادة كربيد السيليكون عالية النقاء وتتضمن بشكل أساسي الأجزاء التالية:

• جسم دعم القوارب: هيكل مشابه لقوس ، يستخدم خصيصًا للحملرقائق السيليكونأو غيرها من المواد شبه الموصلة.

• هيكل الدعم: يتيح تصميم هيكل الدعم الخاص به أن يتحمل أحمالًا ثقيلة في درجات حرارة عالية ولن يتم تشويهها أو أضرارها أثناء علاج درجة الحرارة العالية.

مادة كربيد السيليكون

الخصائص الفيزيائيةكربيد السيليكون المعاد بلورة：

إذا كانت متطلبات عملية الإنتاج أعلى ،CVD كذا طلاءيمكن إجراؤها على حاملة القارب برقاقة SiC عالية النقاء لجعل النقاء يصل إلى أكثر من 99.99995٪، مما يزيد من تحسين مقاومتها لدرجات الحرارة العالية.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC:

أثناء العلاج بدرجة حرارة عالية ، تتيح حاملة قوارب رقاقة عالية النقاء تسخين رقاقة السيليكون بالتساوي لتجنب ارتفاع درجة الحرارة المحلية. بالإضافة إلى ذلك ، تتيح المقاومة عالية درجة الحرارة لمادة كربيد السيليكون الحفاظ على الاستقرار الهيكلي في درجات حرارة 1200 درجة مئوية أو أعلى.

أثناء عملية الانتشار أو الصلب ، يعمل مجداف الكابولي وحامل قارب الرقاقة العالي نقاء معًا. المجداف ناتئيدفع ببطء حامل قارب رقاقة SiC عالي النقاء الذي يحمل رقاقة السيليكون إلى غرفة الفرن ويوقفها في موضع معين للمعالجة. 

يحافظ حامل القارب عالي النقاء من SiC على الاتصال برقاقة السيليكون ويتم تثبيته في موضع محدد أثناء عملية المعالجة الحرارية، بينما يساعد المجداف الكابولي في الحفاظ على الهيكل بأكمله في الموضع الصحيح مع ضمان توحيد درجة الحرارة.

يعمل حامل القارب عالي النقاء من SiC والمجداف الكابولي معًا لضمان دقة واستقرار عملية درجة الحرارة المرتفعة.

يوفر لك Fetek Semiconductor حاملة قوارب رقاقة عالية النقاء وفقًا لاحتياجاتك. نتطلع إلى استفسارك.

فيتيك لأشباه الموصلاتمحلات نقل القوارب المصنوعة من رقائق الرقاقة SiC عالية النقاء: