ما هو الشق على الرقائق؟

رقائق السيليكونهي أساس الدوائر المتكاملة وأجهزة أشباه الموصلات. لديهم ميزة مثيرة للاهتمام - حواف مسطحة أو أخاديد صغيرة على الجانبين. إنها ليست عيبًا، ولكنها علامة وظيفية مصممة بشكل متعمد.في الواقع، يعد هذا الشق بمثابة مرجع اتجاهي وعلامة هوية طوال عملية التصنيع بأكملها.

في الأيام الأولى، كانت الرقائق تستخدم في الغالب علامة "مسطحة" كعلامة، مما يعني قطعة مستقيمة قصيرة أرضية على الحافة الدائرية. تم استخدام موضع وعدد هذه المسطحات لتمييز التوجهات البلورية وأنواع المنشطات. مع زيادة حجم الرقاقة وتحسين دقة المعالجة، تم توحيد الرقاقات السائدة مقاس 200 مم و300 مم إلى حد كبير في تصميم صغير على شكل قوس. يتم تحديد موضع هذا الشق وفقًا للمعايير ويقع في اتجاه ثابت، ويستخدم للإشارة إلى الاتجاه البلوري للرقاقة (على سبيل المثال <100> أو <111>) ولتوفير نقطة مرجعية مشتركة للمعدات اللاحقة.

ما هي وظيفة الشق الرقاقة؟ 

• أولا، أنه يوفر مرجعا لمحاذاة الرقاقة. تتطلب الخطوات الأساسية مثل الطباعة الحجرية والحفر وزرع الأيونات تكديس طبقات متعددة من الأنماط. إذا كان النظام الإحداثي لكل طبقة غير متسق، فسيتم محاذاة الأجهزة النهائية بشكل غير صحيح وإلغائها. من خلال اكتشاف موضع الحز، يمكن للمعدات إنشاء نظام إحداثي موحد بسرعة ثم استخدام علامات المحاذاة لتحقيق تراكب دقيق.
• ثانياً، يقوم بتشفير معلومات الرقاقة. تتميز التوجهات البلورية المختلفة وأنواع المنشطات المختلفة (مثل النوع P والنوع N) بخصائص مادية واعتبارات تصميمية مميزة. يسمح اتجاه الحز، جنبًا إلى جنب مع العلامات الخلفية وغيرها من الوسائل، لخط الإنتاج بالتعرف بسرعة على الرقائق أثناء المعالجة والفرز الآلي، وتجنب الخلط بين أنواع المنتجات المختلفة.
• ثالثًا، يضمن السلامة في التعامل الآلي. تستخدم المصانع الحديثة على نطاق واسع أذرع الروبوتات وأنظمة التعامل الآلي مع المواد (AMHS). تعتمد هذه الأنظمة على الحز لتحديد الجانب الأمامي/الخلفي واتجاه الرقاقة، مما يمنع التحميل الخاطئ أو الانقلاب الذي قد يؤدي إلى خسارة الإنتاجية.

بالنسبة لمهندسي الأجهزة والعمليات، قد يبدو الشق الموجود على الرقاقة غير مهم، ولكنه يمر عبر سلسلة العملية بأكملها بدءًا من سحب البلورات والتنقيط وتصنيع الرقاقات وصولاً إلى اختبار ما قبل التغليف. عندما يتعلق الأمر بـ "الاتجاه" - الاتجاه البلوري، أو محاذاة التخطيط، أو اتجاه الضغط، أو حتى تصميم هيكل بعض أجهزة الطاقة - تكون هذه العلامة الهندسية الصغيرة دائمًا في الخلفية تقريبًا. بمجرد أن تفهم دور الشق، يصبح من الأسهل بكثير متابعة كيفية "تحرك" الرقاقة عبر خط الإنتاج وكيف تقوم كل خطوة عملية ببناء نظامها الإحداثي حول قطعة السيليكون هذه.