قارب كوارتز نقاء عالي

قوارب الكوارتز عالية النقاء هي ناقلات دقيقة مصنوعة من مواد الكوارتز ذات النقاء العالي (محتوى SIO₂ ≥ 99.99 ٪) ، مصممة لعمليات درجات الحرارة العالية. هذا الجهاز ضروري لعمليات مثل الصلب ، والانتشار ، والأكسدة ، وترسب البخار الكيميائي (CVD) ، ويستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات ، والخلايا الكهروضوئية ، وغيرها من الحقول. تكمن ميزتها الأساسية في الاستقرار الفيزيائي والكيميائي للمادة نفسها.

ⅰ. الخصائص الفيزيائية الممتازة لقارب الكوارتز عالي النقاء

ⅱ. الاستخدامات الرئيسية ومزايا المنتج المقابلة لقارب الكوارتز المرتفع نقاء

1. تصنيع أشباه الموصلات:

استخدامات محددة: أدوات الناقل في انتشار ارتفاع درجات الحرارة والأكسدة ، الصلب ، وعمليات CVD (ترسيب البخار الكيميائي).

مزايا المنتج:

● تلوث منخفض منخفض: قوارب الويفر النقية بنسبة 99.99 ٪ تجنب تلوث الأيونات المعدنية وضمان الأداء الكهربائي للرقاقة.

● حجم دقيق: يبلغ تسطيح قارب الويفر الكوارتز 0.05 مم ، مما يضمن تسخينًا موحدًا للرقاقة (مثل قارب رقاقة بحجم 12 بوصة).

● حياة طويلة: وفقًا لبيانات الإنتاج الفعلية التي سجلناها ، يمكن استخدام قوارب رقاقة الكوارتز التي ننتجها بشكل مستمر لأكثر من 1000 ساعة عند 1200 درجة مئوية ، مما يقلل بشكل كبير من تردد الاستبدال (مقارنةً بقوارب الكوارتز العادية ، تزداد الحياة بمقدار 3 مرات).

2. صناعة الكهروضوئية

استخدامات محددة: في مجال تصنيع الصناعة الكهروضوئية ، عادةً ما تستخدم قوارب الكوارتز عالية النقاء في رقائق السيليكون في انتشار الفوسفور لخلايا PERC وعملية نشر البورون للخلايا العليا.

مزايا الأداء:

● تصميم حمولة عالية: القارب الوحيد الذي ننتجه يمكن أن يحمل 200 ~ 300 رقائق السيليكون (سمك 160 ~ 180μm) ، مما يحسن بشكل كبير من طاقة إنتاج الرقاقة لكل وحدة زمنية.

● ارتفاع درجات الحرارة السريعة والسقوط: معامل التمدد الحراري للغاية (0.55 × 10⁻⁶/درجة مئوية (20 ~ 1000 درجة مئوية) ، بالقرب من التوسع الصفر) يدعم انخفاض بنسبة 10 ٪ ~ 15 ٪ في دورة العملية.

● تأثير مكافحة الحوض: لا يوجد هطول أيون الصوديوم أثناء عملية تحميل رقاقة السيليكون يقلل من خطر التدهور الناجم عن الصور.

ⅲ. مواصفات تعبئة قوارب الكوارتز

ستستخدم قوارب Veteksemicon Quartz عبوات كثيفة متعددة الطبقات لضمان سلامة المنتج أثناء التخزين والنقل.

في الوقت نفسه ، يدعم VeteKseMincon تصميم العمليات المخصصة المخصصة ، مثل الحجم غير القياسي (خطأ ± 0.1 مم) ، وتصميم تكديس متعدد الطبقات (حتى 5 طبقات) ، وطلاء فيلم مقاوم للدرجات (مثل طلاء SIC). مرحبًا بكم مزيد من الاستشارة.