فرن الأكسدة والانتشار

● مقاومة درجات الحرارة العالية (حتى 1600 ℃)

● الموصلية الحرارية الممتازة والاستقرار الحراري

● مقاومة التآكل الكيميائي الجيد

● معامل منخفض للتوسع الحراري

● القوة العالية والصلابة

● خدمة الخدمة الطويلة

في أفران الأكسدة والانتشار ، نظرًا لوجود ارتفاع درجة الحرارة والغازات المسببة للتآكل ، تتطلب العديد من المكونات استخدام مواد عالية درجة الحرارة والمقاومة للتآكل ، من بينها كربيد السيليكون (SIC) هو اختيار شائع الاستخدام. فيما يلي مكونات كربيد السيليكون الشائعة الموجودة في أفران الأكسدة وأفران الانتشار:

● قارب الرقاقة

قارب رقاقة كربيد السيليكون هو حاوية تستخدم لحمل رقائق السيليكون ، والتي يمكن أن تحمل درجات حرارة عالية ولن تتفاعل مع رقائق السيليكون.

● أنبوب الفرن

أنبوب الفرن هو المكون الأساسي لفرن الانتشار ، ويستخدم لاستيعاب رقائق السيليكون والتحكم في بيئة التفاعل. أنابيب فرن كربيد السيليكون لها أداء ممتازة في درجات الحرارة العالية والتآكل.

● لوحة الحرس

تستخدم لتنظيم تدفق الهواء وتوزيع درجة الحرارة داخل الفرن

● أنبوب الحماية الحرارية

تستخدم لحماية درجة الحرارة لقياس المزدوجات الحرارية من الاتصال المباشر مع الغازات المسببة للتآكل.

● مجداف ناتئ

تُقاوم مجاذيف الكابينة من السيليكون كربيد من درجة الحرارة والتهاب ، وتستخدم لنقل قوارب السيليكون أو قوارب الكوارتز التي تحمل رقائق السيليكون في أنابيب فرن الانتشار.

● حاقن الغاز

تستخدم لإدخال غاز التفاعل في الفرن ، يجب أن يكون مقاومًا لدرجة الحرارة المرتفعة والتآكل.

● حاملة القوارب

يتم استخدام حاملة القوارب القارب كربيد السيليكون لإصلاح ودعم رقائق السيليكون ، والتي لها مزايا مثل القوة العالية ، ومقاومة التآكل ، والاستقرار الهيكلي الجيد.

● باب الفرن

يمكن أيضًا استخدام الطلاء أو المكونات كربيد السيليكون في الجزء الداخلي من باب الفرن.

● عنصر التدفئة

تعتبر عناصر تسخين كربيد السيليكون مناسبة لدرجات الحرارة المرتفعة ، والطاقة العالية ، ويمكن أن ترفع درجات الحرارة بسرعة إلى أكثر من 1000 ℃.

● SIC بطانة

يستخدم لحماية الجدار الداخلي لأنابيب الفرن ، يمكن أن يساعد في تقليل فقدان الطاقة الحرارية وتحمل البيئات القاسية مثل ارتفاع درجة الحرارة والضغط العالي.