كيب ناتئ المجاذيف

ⅰ

تستخدم مجاذيف ناتئ الكابولي بشكل رئيسي في معدات إنتاج أشباه الموصلات كدعم للرقاقة ومكونات الإرسال. تتمثل وظيفتها الأساسية في معالجة رقائق السيليكون بدقة ودقة في ظل ظروف العملية القصوى مثل ارتفاع درجة الحرارة والتآكل العالي ، مما يضمن عملية إنتاج سلسة وفعالة.

ⅱ.

SIC هي مادة خزفية متقدمة تمنحها خصائصها الفيزيائية الممتازة ميزة لا مثيل لها في مجال أشباه الموصلات. فيما يلي المعلمات المادية الرئيسية المتعلقة بمجاذيف ناتئ كذا:

● نقاء عالية: يمكن أن يقلل استخدام مادة SIC عالية النقاء من تلوث العملية وتحسين عائد المنتج.

● مقاومة ممتازة عالية درجة الحرارة: لدى SIC نقطة انصهار تصل إلى 2830 درجة مئوية ، والتي تمكنها من الحفاظ على السلامة الهيكلية في بيئات درجة الحرارة القصوى مثل حفر البلازما والصلصة عالية الحرارة ، ويمكن أن تصل درجة حرارة التشغيل على المدى الطويل إلى أكثر من 1000 درجة مئوية.

● صلابة عالية وارتداء المقاومة: صلابة MOHS هي 9-9.5 ، في المرتبة الثانية فقط إلى الماس ، مما يعطي مجاذيف ناتئة كاتوليات مقاومة تآكل ممتازة والحفاظ على الاستقرار الأبعاد أثناء انتقال الرقاقة عالي التردد.

● الموصلية الحرارية الممتازة: الموصلية الحرارية للسيراميك SIC تصل إلى 120-250 واط/(م · ك) (القيمة النموذجية) ، والتي يمكن أن تتبدد الحرارة بسرعة وتجنب ارتفاع درجة الحرارة المحلية التي قد تضر بالرقاقة.

● معامل التمدد الحراري المنخفض: يضمن معامل التمدد الحراري المنخفض (حوالي 4.0 × 10⁻⁶ /k) الاستقرار الأبعاد عندما تتغير درجة الحرارة ، وتجنب الإجهاد الناجم عن التمدد الحراري والانكماش ، وبالتالي يقلل من خطر تلف الذروة.

ⅲ. سيناريوهات التطبيق من المجاذيف الكابولي

تتيح لها الخصائص الفريدة لمجاذيف ناتئ SIC لعب دور رئيسي في روابط متعددة لتصنيع أشباه الموصلات:

● معدات حفر البلازما: في غرفة حفر البلازما ، تعمل المجاذيف الكابولي كدعم ويفر ، والتي يمكن أن تصمد أمام قصف البلازما وتآكل الغاز التآكل مع الحفاظ على الاستقرار الأبعاد ، وضمان دقة الحفر وتوسيع عمر المعدات.

● معدات ترسب فيلم رقيقة (CVD/PVD): في عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وترسب البخار الفيزيائي (PVD) ، يتم استخدام مجاذيات الكابولي SIC لدعم الرقاقات. تساعد مقاومتها الممتازة عالية في درجة الحرارة والتوصيل الحراري على تسخين الرقاقات بشكل موحد ومنع تلوث الجسيمات الناتج خلال عملية ترسب الفيلم الرقيقة.

● نظام نقل الرقاقة: في نظام نقل الويفر الآلي ، يمكن لمجاذيف الكابوليات الكابينة تحمل الحركة الميكانيكية ذات التردد العالي بسبب صلابةها عالية ومقاومة التآكل ، مما يضمن نقل دقة وسريعة للرقم بين غرف العمليات المختلفة ، مما يقلل من خطر أضرار الويفر والتلوث.

● عملية الصلب عالية درجة الحرارة: في فرن الصلب العالي في درجة الحرارة ، يمكن لمجاذيف الكابوليات الكابينة تحمل بيئات درجات الحرارة المرتفعة للغاية ، وتوفر دعمًا مستقرًا للرقائق ، وضمان توحيد وفعالية عملية الصلب.

يدرك Veteksemicon جيدًا المتطلبات الصارمة لعمليات أشباه الموصلات لجودة المنتج. لذلك ، فإننا ندعم خدمات مخصصة ويمكننا توفير تصميم وإنتاج مجداف ناتئ SIC مخصص وفقًا لمعداتك المحددة ومتطلبات العملية. وسنتحكم أيضًا في مراقبة الجودة الصارمة لضمان خضوع كل منتج لعمليات تفتيش جودة صارمة لضمان تلبية أعلى معايير الصناعة.

الأهم من ذلك ، أن الفريق الفني للفنيين في Vetek Semiconductor يزودك بالتشاور الفني الشامل وحلول المنتجات. إن اختيار مجدافنا الكابولي يعني اختيار كفاءة إنتاج أعلى وعمر معدات أطول وعائد منتج أفضل. نتطلع إلى مشاورة أخرى.