حامل رقاقة رقاقة كذا الأفقي

فيتيك لأشباه الموصلاتحاملة رقائق SiC الأفقية/القارب لديه نقطة انصهار عالية للغاية (حوالي 2700 درجة مئوية)، والتي تمكن منحاملة رقائق SiC الأفقية/قارب للعمل بشكل ثابت في بيئات درجات الحرارة العالية دون تشوه أو تدهور. هذه الميزة مهمة بشكل خاص في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة في العمليات مثل ترسبات البخار الكيميائي عالية درجة الحرارة (CVD).

الحامل رقاقة رقاقة كذا الأفقي/القارب يلعب على وجه التحديد الأدوار التالية في عملية حمل حاملات الرقاقة:

رقاقة السيليكون تحمل ودعم: يستخدم قارب الرقاقة الأفقي بشكل أساسي لحمل ودعم رقائق السيليكون أثناء تصنيع أشباه الموصلات. يمكن أن ترتب بحزم رقائق السيليكون المتعددة معًا لضمان بقائها في وضع جيد واستقرار طوال عملية المعالجة بأكملها.

التدفئة والتبريد موحدة: نظرًا للتوصيل الحراري العالي لـ SiC، يمكن لـ Wafer Boat توزيع الحرارة بشكل فعال بالتساوي على جميع رقائق السيليكون. وهذا يساعد على تحقيق تسخين أو تبريد موحد لرقائق السيليكون أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية، مما يضمن اتساق وموثوقية عملية المعالجة.

منع التلوث: الاستقرار الكيميائي لـ SiC يمكّنه من الأداء الجيد في بيئات الغاز ذات درجة الحرارة العالية والتآكل، مما يقلل من تعرض رقائق السيليكون للملوثات أو المواد المتفاعلة المحتملة، مما يضمن نقاء وجودة رقائق السيليكون.

في الواقع، يمكن لقارب الويفر الأفقي SiC أن يلعب الدور المذكور أعلاه نظرًا لخصائص المنتج الفريدة:

استقرار كيميائي ممتاز: تتمتع مادة SiC بمقاومة ممتازة للتآكل لمجموعة متنوعة من الوسائط الكيميائية. في عملية معالجة الغازات أو السوائل المسببة للتآكل، يمكن لـ SiC Wafer Boat مقاومة التآكل الكيميائي بشكل فعال وحماية رقائق السيليكون من التلوث أو التلف.

الموصلية الحرارية العالية: تساعد الموصلية الحرارية العالية لـ SIC على توزيع الحرارة بالتساوي في عملية الناقل وتقليل تراكم الحرارة. هذا يمكن أن يحسن دقة التحكم في درجة الحرارة أثناء المعالجة الدقيقة وضمان التدفئة الموحدة أو تبريد رقائق السيليكون.

معامل التمدد الحراري المنخفض: يعني معامل التمدد الحراري المنخفض لمادة SIC أن التغير الأبعاد لقارب رقاقة SIC صغير جدًا أثناء التغيرات في درجة الحرارة. يساعد ذلك في الحفاظ على الاستقرار الأبعاد أثناء المعالجة ذات درجة الحرارة العالية ويمنع تشوه أو إزاحة الموضعية للرقائق السيليكون الناتجة عن التمدد الحراري.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لحامل رقاقة SiC الأفقي:

متجر VeTek لإنتاج أشباه الموصلات:

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات: