قائمة الويب

بحث منتوج

لغة

منتجات

فرن الأكسدة والانتشار

يتم استخدام أفران الأكسدة والانتشار في مختلف المجالات مثل أجهزة أشباه الموصلات ، والأجهزة المنفصلة ، والأجهزة الإلكترونية البصرية ، والأجهزة الإلكترونية للطاقة ، والخلايا الشمسية ، وتصنيع الدوائر المتكاملة على نطاق واسع. يتم استخدامها للعمليات بما في ذلك الانتشار ، والأكسدة ، والصلصة ، والسبائك ، والتلبيخ من الرقائق.


تعتبر أشباه الموصلات الفيتيكية الشركة الرائدة في إنتاج مكونات الجرافيت عالية النقاء ، والكربيد السيليكون والكوارتز في أفران الأكسدة والانتشار. نحن ملتزمون بتوفير مكونات فرن عالية الجودة للصناعات شبه الموصلات والصناعات الكهروضوئية ، ونحن في طليعة تكنولوجيا الطلاء السطحي ، مثل CVD-SIC ، CVD-TAC ، pyrocarbon ، إلخ.


مزايا مكونات كربيد سيليكون أشباه الموصلات النقش:

● مقاومة درجات الحرارة العالية (حتى 1600 ℃)

● الموصلية الحرارية الممتازة والاستقرار الحراري

● مقاومة التآكل الكيميائي الجيد

● معامل منخفض للتوسع الحراري

● القوة العالية والصلابة

● خدمة الخدمة الطويلة


في أفران الأكسدة والانتشار ، نظرًا لوجود ارتفاع درجة الحرارة والغازات المسببة للتآكل ، تتطلب العديد من المكونات استخدام مواد عالية درجة الحرارة والمقاومة للتآكل ، من بينها كربيد السيليكون (SIC) هو اختيار شائع الاستخدام. فيما يلي مكونات كربيد السيليكون الشائعة الموجودة في أفران الأكسدة وأفران الانتشار:



● قارب الرقاقة

قارب رقاقة كربيد السيليكون هو حاوية تستخدم لحمل رقائق السيليكون ، والتي يمكن أن تحمل درجات حرارة عالية ولن تتفاعل مع رقائق السيليكون.


● أنبوب الفرن

أنبوب الفرن هو المكون الأساسي لفرن الانتشار ، ويستخدم لاستيعاب رقائق السيليكون والتحكم في بيئة التفاعل. أنابيب فرن كربيد السيليكون لها أداء ممتازة في درجات الحرارة العالية والتآكل.


● لوحة الحرس

تستخدم لتنظيم تدفق الهواء وتوزيع درجة الحرارة داخل الفرن


● أنبوب الحماية الحرارية

تستخدم لحماية درجة الحرارة لقياس المزدوجات الحرارية من الاتصال المباشر مع الغازات المسببة للتآكل.


● مجداف ناتئ

تُقاوم مجاذيف الكابينة من السيليكون كربيد من درجة الحرارة والتهاب ، وتستخدم لنقل قوارب السيليكون أو قوارب الكوارتز التي تحمل رقائق السيليكون في أنابيب فرن الانتشار.


● حاقن الغاز

تستخدم لإدخال غاز التفاعل في الفرن ، يجب أن يكون مقاومًا لدرجة الحرارة المرتفعة والتآكل.


● حاملة القوارب

يتم استخدام حاملة القوارب القارب كربيد السيليكون لإصلاح ودعم رقائق السيليكون ، والتي لها مزايا مثل القوة العالية ، ومقاومة التآكل ، والاستقرار الهيكلي الجيد.


● باب الفرن

يمكن أيضًا استخدام الطلاء أو المكونات كربيد السيليكون في الجزء الداخلي من باب الفرن.


● عنصر التدفئة

تعتبر عناصر تسخين كربيد السيليكون مناسبة لدرجات الحرارة المرتفعة ، والطاقة العالية ، ويمكن أن ترفع درجات الحرارة بسرعة إلى أكثر من 1000 ℃.


● SIC بطانة

يستخدم لحماية الجدار الداخلي لأنابيب الفرن ، يمكن أن يساعد في تقليل فقدان الطاقة الحرارية وتحمل البيئات القاسية مثل ارتفاع درجة الحرارة والضغط العالي.

View as  
 
حاملة رقاقة كربيد السيليكون العالية

حاملة رقاقة كربيد السيليكون العالية

تعتبر شركة Vetek Semiconductor High Pure Pure Carbide Wefer Carrier مكونات مهمة في معالجة أشباه الموصلات ، المصممة للاحتفاظ بأمان ونقل رقائق السيليكون الحساسة ، وتلعب دورًا رئيسيًا في جميع مراحل التصنيع. تم تصميم وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع بعناية وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع وتصنيع بعناية وتصنيع بعناية وتصنع حاملة الفيتً التي يتم تصميمها بعناية إن مصمً إن حاملة الًصيات الموعيات إن حاملة الأفيم إن بًبًغة إن أوبةبًطييات ممتازة أوياتيات ممتازة ، المصوصياتياتيات الأمريكية إن حائق الواقعيات (إن ، إن حائق حامل إنصبةً إن حائق الًصياتًهيرياتياتبه إن حشد ًًوع ،يات الأمروص ،يات الأمروص ،يات الأمروص ،يات الأمروص ،يات الأمروص ،يات الأمروص ،يات الأمروص ،يات الأمروص ،يات الأمر كذلكً إنصبةً أن حائقياتياتياتياتياتياتبه إن حائقياتياتيات الأمر تلتزم شركة Vetek Semiconductor بتوفير منتجات عالية الجودة بأسعار تنافسية ، ونتطلع إلى أن تكون شريكك على المدى الطويل في الصين.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
قارب رقاقة كربيد السيليكون

قارب رقاقة كربيد السيليكون

يتكون قارب رقاقة السيليكون العالي في السيليكون العالي في الفيتوك من مادة كربيد السيليكون النقي للغاية مع الاستقرار الحراري الممتاز والقوة الميكانيكية والمقاومة الكيميائية. يتم استخدام قارب رقاقة كربيد السيليكون عالي النقاء في تطبيقات المنطقة الساخنة في تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة في البيئات ذات درجة الحرارة العالية ، ويلعب دورًا مهمًا في حماية العرقات ونقل المواد والحفاظ على عمليات مستقرة. سيستمر أشباه الموصلات الفيطورية في العمل بجد للابتكار وتحسين أداء قارب رقاقة كربيد السيليكون العالي لتلبية الاحتياجات المتطورة لتصنيع أشباه الموصلات. نتطلع إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء فرن الأكسدة والانتشار المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.
توصيات الأخبار
ما هو حساس الجرافيت المغطى بالكيك؟
ما هو حساس الجرافيت المغطى بالكيك؟عرض المزيد >>
ما الفرق بين كربيد السيليكون وطلاء كربيد تانتالوم؟
ما الفرق بين كربيد السيليكون وطلاء كربيد تانتالوم؟عرض المزيد >>
ما هو تشاك الكهروستاتيكي (ESC)؟
ما هو تشاك الكهروستاتيكي (ESC)؟عرض المزيد >>
أفضل 3 موردي المواد الكوارتز في العالم
أفضل 3 موردي المواد الكوارتز في العالمعرض المزيد >>
اختراق تقنية Tantalum Carbide ، تم تخفيض التلوث الفوقي بنسبة 75 ٪؟
اختراق تقنية Tantalum Carbide ، تم تخفيض التلوث الفوقي بنسبة 75 ٪؟عرض المزيد >>
ما هو درجة حرارة التدرج للحقل الحراري للفرن البلوري الواحد؟
ما هو درجة حرارة التدرج للحقل الحراري للفرن البلوري الواحد؟عرض المزيد >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept