فرن الأكسدة والانتشار

يتم استخدام أفران الأكسدة والانتشار في مختلف المجالات مثل أجهزة أشباه الموصلات ، والأجهزة المنفصلة ، والأجهزة الإلكترونية البصرية ، والأجهزة الإلكترونية للطاقة ، والخلايا الشمسية ، وتصنيع الدوائر المتكاملة على نطاق واسع. يتم استخدامها للعمليات بما في ذلك الانتشار ، والأكسدة ، والصلصة ، والسبائك ، والتلبيخ من الرقائق.

تعتبر أشباه الموصلات الفيتيكية الشركة الرائدة في إنتاج مكونات الجرافيت عالية النقاء ، والكربيد السيليكون والكوارتز في أفران الأكسدة والانتشار. نحن ملتزمون بتوفير مكونات فرن عالية الجودة للصناعات شبه الموصلات والصناعات الكهروضوئية ، ونحن في طليعة تكنولوجيا الطلاء السطحي ، مثل CVD-SIC ، CVD-TAC ، pyrocarbon ، إلخ.

مزايا مكونات كربيد سيليكون أشباه الموصلات النقش:

● مقاومة درجات الحرارة العالية (حتى 1600 ℃)

● الموصلية الحرارية الممتازة والاستقرار الحراري

● مقاومة التآكل الكيميائي الجيد

● معامل منخفض للتوسع الحراري

● القوة العالية والصلابة

● خدمة الخدمة الطويلة

في أفران الأكسدة والانتشار ، نظرًا لوجود ارتفاع درجة الحرارة والغازات المسببة للتآكل ، تتطلب العديد من المكونات استخدام مواد عالية درجة الحرارة والمقاومة للتآكل ، من بينها كربيد السيليكون (SIC) هو اختيار شائع الاستخدام. فيما يلي مكونات كربيد السيليكون الشائعة الموجودة في أفران الأكسدة وأفران الانتشار:

● قارب الرقاقة

قارب رقاقة كربيد السيليكون هو حاوية تستخدم لحمل رقائق السيليكون ، والتي يمكن أن تحمل درجات حرارة عالية ولن تتفاعل مع رقائق السيليكون.

● أنبوب الفرن

أنبوب الفرن هو المكون الأساسي لفرن الانتشار ، ويستخدم لاستيعاب رقائق السيليكون والتحكم في بيئة التفاعل. أنابيب فرن كربيد السيليكون لها أداء ممتازة في درجات الحرارة العالية والتآكل.

● لوحة الحرس

تستخدم لتنظيم تدفق الهواء وتوزيع درجة الحرارة داخل الفرن

● أنبوب الحماية الحرارية

تستخدم لحماية درجة الحرارة لقياس المزدوجات الحرارية من الاتصال المباشر مع الغازات المسببة للتآكل.

● مجداف ناتئ

تُقاوم مجاذيف الكابينة من السيليكون كربيد من درجة الحرارة والتهاب ، وتستخدم لنقل قوارب السيليكون أو قوارب الكوارتز التي تحمل رقائق السيليكون في أنابيب فرن الانتشار.

● حاقن الغاز

تستخدم لإدخال غاز التفاعل في الفرن ، يجب أن يكون مقاومًا لدرجة الحرارة المرتفعة والتآكل.

● حاملة القوارب

يتم استخدام حاملة القوارب القارب كربيد السيليكون لإصلاح ودعم رقائق السيليكون ، والتي لها مزايا مثل القوة العالية ، ومقاومة التآكل ، والاستقرار الهيكلي الجيد.

● باب الفرن

يمكن أيضًا استخدام الطلاء أو المكونات كربيد السيليكون في الجزء الداخلي من باب الفرن.

● عنصر التدفئة

تعتبر عناصر تسخين كربيد السيليكون مناسبة لدرجات الحرارة المرتفعة ، والطاقة العالية ، ويمكن أن ترفع درجات الحرارة بسرعة إلى أكثر من 1000 ℃.

● SIC بطانة

يستخدم لحماية الجدار الداخلي لأنابيب الفرن ، يمكن أن يساعد في تقليل فقدان الطاقة الحرارية وتحمل البيئات القاسية مثل ارتفاع درجة الحرارة والضغط العالي.

View as

أنبوب فرن الانتشار

بصفته الشركة الرائدة في مجال المصنّع والمورد لمعدات فرن الانتشار في الصين ، فإن أنبوب فرن النشر النيميكي للنقاط النقش لديه قوة ثني عالية بشكل كبير ، ومقاومة ممتازة للأكسدة ، ومقاومة التآكل ، ومقاومة التآكل العالية ، والخصائص الميكانيكية عالية الحرارة الممتازة. مما يجعلها مادة معدات لا غنى عنها في تطبيقات فرن الانتشار. تلتزم أشباه الموصلات الفيتيكية بتصنيع وتزويد أنبوب فرن الانتشار عالي الجودة ، ويرحب بمزيد من الاستفسارات.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

حاملة قوارب ويفر SiC عالية النقاء

تقدم شركة VeTek Semiconductor حاملة قوارب من رقائق SiC عالية النقاء مخصصة. مصنوعة من كربيد السيليكون عالي النقاء، وتتميز بفتحات لتثبيت الرقاقة في مكانها، مما يمنعها من الانزلاق أثناء المعالجة. طلاء CVD SiC متاح أيضًا إذا لزم الأمر. باعتبارها شركة مصنعة وموردة محترفة وقوية لأشباه الموصلات، فإن حاملة القارب عالية النقاء SiC من شركة VeTek Semiconductor تتميز بأسعار تنافسية وجودة عالية. تتطلع شركة VeTek Semiconductor إلى أن تكون شريكك على المدى الطويل في الصين.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

مجداف ناتولي من نقاء العالي

Vetek Semiconductor هي الشركة المصنعة الرائدة والمورد لمنتج مجداف ناتئ النابض العالي نقاء في الصين. يتم استخدام المجاذيف عالية النقاء الكابولي بشكل شائع في أفران انتشار أشباه الموصلات مثل نقل الويفر أو منصات التحميل.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

عمود عمودي رقاقة القوارب وقاعدة التمثال

يتكون القارب وقاعدة الفرق العمودية للعمود العمودي لنقض النقش من مواد الكوارتز أو السيليكون السيليكون السيليكون (SIC) ، مع مقاومة ممتازة عالية في درجة الحرارة ، والاستقرار الكيميائي والقوة الميكانيكية ، وهو مكون أساسي لا غنى عنه في عملية تصنيع أشباه الموصلات. مرحبًا بكم مزيد من الاستشارة.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

قارب رقاقة متجاورة

VETEK Semiconductor Boat Contiguure Wefer هو معدات متقدمة لمعالجة أشباه الموصلات. تم تصميم هيكل المنتج بعناية لضمان معالجة وإنتاج فعالة للرقائق الدقيقة. يدعم VeteKsemi حلول منتجات مخصصة ويتطلع إلى استشارةك.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

حامل رقاقة رقاقة كذا الأفقي

Vetek Semiconductor هي شركة تصنيع محترفة ومورد لخاتم الدليل المطلي TAC ، وناقل رقاقة SIC الأفقي ، وشابون المغلفة في الصين. نحن ملتزمون بتوفير الدعم الفني المثالي وحلول المنتجات النهائية لصناعة أشباه الموصلات. مرحبا بكم في الاتصال بنا.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء فرن الأكسدة والانتشار المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف
+86-18069220752
فاكس
+86-579-87223657
بريد إلكتروني
anny@veteksemi.com
عنوان
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين

قائمة الويب

بحث منتوج

لغة

قائمة الخروج

فرن الأكسدة والانتشار

مزايا مكونات كربيد سيليكون أشباه الموصلات النقش:

أنبوب فرن الانتشار

حاملة قوارب ويفر SiC عالية النقاء

مجداف ناتولي من نقاء العالي

عمود عمودي رقاقة القوارب وقاعدة التمثال

قارب رقاقة متجاورة

حامل رقاقة رقاقة كذا الأفقي

إرسال الاستفسار

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف

فاكس

بريد إلكتروني

عنوان