منتجات

كربيد السيليكون الصلب

تعتبر كربيد السيليكون الصلبة في الفيتوكية مكونًا مهمًا للسيراميك في معدات حفر البلازما ، كربيد السيليكون الصلب (CVD سيليكون كربيد) تشمل الأجزاء في معدات الحفرتركيز الخواتم، رأس دش الغاز ، صينية ، حلقات الحافة ، وما إلى ذلك بسبب انخفاض التفاعل والتوصيل لكربريد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى غازات الحفر الكلور - والفلور ، وهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز حلقات ومكونات أخرى.


على سبيل المثال ، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة والاتصال المباشر بالرقاقة ، من خلال تطبيق الجهد على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة ، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين توحيد المعالجة. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة مركّزة شائعة ، فهي قريبة تقريبًا من توصيل رقائق السيليكون ، ولكن النقص ضعيف مقاومة الحفر في البلازما المحتوية على الفلور ، وتقلل مواد أجزاء آلة الحفر غالبًا لفترة زمنية ، وسيكون هناك ظاهرة في تآكل خطيرة ، مما يقلل بشكل خطير من فعاليته في إنتاجه.


Sحلقة التركيز Olid sicمبدأ العمل

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING :

مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING
غرض و CVD كذا
الكثافة (ز/سم3) 2.33 3.21
فجوة الفرقة (EV) 1.12 2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
معامل مرن (GPA) 150 440
صلابة (GPA) 11.4 24.5
مقاومة التآكل والتآكل فقير ممتاز


تقدم أشباه الموصلات الفيتيكية كربيد السيليكون المتقدم (CVD CARBIDE) مثل حلقات التركيز على معدات أشباه الموصلات. يتفوق كربيد السيليكون الصلب الذي يركز على حلقات السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية ، والمقاومة الكيميائية ، والتوصيل الحراري ، ومتانة درجة الحرارة العالية ، ومقاومة الحفر الأيوني.


تتضمن الميزات الرئيسية لخواتم التركيز الخاصة بنا SIC:

كثافة عالية لخفض معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة النطاق العالي.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل منخفض للتوسع الحراري.

مقاومة التأثير الميكانيكي المتفوق والمرونة.

صلابة عالية ، وارتداء المقاومة ، ومقاومة التآكل.

المصنعة باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات ، تلبي حلقات تركيزنا في SIC المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل طاقة البلازما المرتفعة والطاقة ، وتحديدا فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)الأنظمة.

توفر حلقات التركيز على أشباه الموصلات في VETEK أداءً استثنائياً وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SIC الخاصة بنا لجودة وكفاءة فائقة.


View as  
 
حساس البرميل المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S

حساس البرميل المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S

باعتبارها واحدة من المصانع الرائدة في تصنيع مستقبِلات الرقاقات في الصين، حققت شركة VeTek Semiconductor تقدمًا مستمرًا في منتجات مستقبِلات الرقاقات وأصبحت الخيار الأول للعديد من الشركات المصنعة للرقائق الفوقي. تم تصميم جهاز امتصاص البرميل المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S المقدم من VeTek Semiconductor لرقائق LPE PE2061S مقاس 4 بوصات. يحتوي المستقبِل على طلاء متين من كربيد السيليكون يعمل على تحسين الأداء والمتانة أثناء عملية LPE (المرحلة السائلة). نرحب باستفسارك، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.
رأس دش الغاز الصلب

رأس دش الغاز الصلب

يلعب رأس الدش المصنوع من غاز SiC الصلب دورًا رئيسيًا في جعل الغاز موحدًا في عملية CVD، وبالتالي ضمان التسخين الموحد للركيزة. لقد شاركت VeTek Semiconductor بعمق في مجال أجهزة SiC الصلبة لسنوات عديدة وهي قادرة على تزويد العملاء برؤوس دش تعمل بالغاز Solid SiC مخصصة. بغض النظر عن متطلباتك، نحن نتطلع إلى استفسارك.
عملية ترسيب البخار الكيميائي حلقة حافة SIC الصلبة

عملية ترسيب البخار الكيميائي حلقة حافة SIC الصلبة

لطالما تم التزام أشباه الموصلات الفيتيك بالبحث والتطوير وتصنيع مواد أشباه الموصلات المتقدمة. اليوم ، أحرزت أشباه الموصلات Vetek تقدمًا كبيرًا في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وهي منتجات حلقة SIC Edge صلبة ، وهي قادرة على تزويد العملاء بحلقات حافة SIC مخصصة للغاية. توفر حلقات حافة SIC الصلبة توحيدًا أفضل ووضع رقاقة دقيق عند استخدامه مع تشاك إلكتروستاتيكي ، مما يضمن نتائج حفر متسقة وموثوقة. نتطلع إلى استفسارك وتصبح شركاء بعضهم البعض على المدى الطويل.
حلقة الصلبة في التركيز على حلقة التركيز

حلقة الصلبة في التركيز على حلقة التركيز

تعد حلقة التركيز لحفر الرقاقة الصلبة أحد المكونات الأساسية لعملية نقش الرقاقة، والتي تلعب دورًا في تثبيت الرقاقة، وتركيز البلازما وتحسين توحيد نقش الرقاقة. باعتبارها الشركة الرائدة في تصنيع حلقات التركيز لـ SiC في الصين، فإن VeTek Semiconductor لديها تكنولوجيا متقدمة وعملية ناضجة، وتقوم بتصنيع حلقة التركيز لحفر SiC الصلبة التي تلبي تمامًا احتياجات العملاء النهائيين وفقًا لمتطلبات العملاء. نحن نتطلع إلى استفسارك ونصبح شركاء لبعضنا البعض على المدى الطويل.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept