رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا
منتجات
اتصل بنا
هاتف
فاكس
+86-579-87223657
بريد إلكتروني
عنوان
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين
تعتبر كربيد السيليكون الصلبة في الفيتوكية مكونًا مهمًا للسيراميك في معدات حفر البلازما ، كربيد السيليكون الصلب (CVD سيليكون كربيد) تشمل الأجزاء في معدات الحفرتركيز الخواتم، رأس دش الغاز ، صينية ، حلقات الحافة ، وما إلى ذلك بسبب انخفاض التفاعل والتوصيل لكربريد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى غازات الحفر الكلور - والفلور ، وهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز حلقات ومكونات أخرى.
على سبيل المثال ، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة والاتصال المباشر بالرقاقة ، من خلال تطبيق الجهد على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة ، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين توحيد المعالجة. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة مركّزة شائعة ، فهي قريبة تقريبًا من توصيل رقائق السيليكون ، ولكن النقص ضعيف مقاومة الحفر في البلازما المحتوية على الفلور ، وتقلل مواد أجزاء آلة الحفر غالبًا لفترة زمنية ، وسيكون هناك ظاهرة في تآكل خطيرة ، مما يقلل بشكل خطير من فعاليته في إنتاجه.
Sحلقة التركيز Olid sicمبدأ العمل:
مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING :
مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING | ||
غرض | و | CVD كذا |
الكثافة (ز/سم3) | 2.33 | 3.21 |
فجوة الفرقة (EV) | 1.12 | 2.3 |
الموصلية الحرارية (ث/سم ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (X10-6/℃) | 2.6 | 4 |
معامل مرن (GPA) | 150 | 440 |
صلابة (GPA) | 11.4 | 24.5 |
مقاومة التآكل والتآكل | فقير | ممتاز |
تقدم أشباه الموصلات الفيتيكية كربيد السيليكون المتقدم (CVD CARBIDE) مثل حلقات التركيز على معدات أشباه الموصلات. يتفوق كربيد السيليكون الصلب الذي يركز على حلقات السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية ، والمقاومة الكيميائية ، والتوصيل الحراري ، ومتانة درجة الحرارة العالية ، ومقاومة الحفر الأيوني.
كثافة عالية لخفض معدلات الحفر.
عزل ممتاز مع فجوة النطاق العالي.
الموصلية الحرارية العالية ومعامل منخفض للتوسع الحراري.
مقاومة التأثير الميكانيكي المتفوق والمرونة.
صلابة عالية ، وارتداء المقاومة ، ومقاومة التآكل.
المصنعة باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات ، تلبي حلقات تركيزنا في SIC المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل طاقة البلازما المرتفعة والطاقة ، وتحديدا فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)الأنظمة.
توفر حلقات التركيز على أشباه الموصلات في VETEK أداءً استثنائياً وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SIC الخاصة بنا لجودة وكفاءة فائقة.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين
حقوق الطبع والنشر © 2024 شركة Vetek Semiconductor Technology Co. ، Ltd. جميع الحقوق محفوظة.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |