قائمة الويب

بحث منتوج

لغة

منتجات

كربيد السيليكون الصلب

يعتبر كربيد السيليكون الصلب VeTek لأشباه الموصلات مكونًا سيراميكيًا مهمًا في معدات حفر البلازما، وكربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) تشمل الأجزاء الموجودة في معدات الحفرحلقات التركيز، رأس دش غاز، صينية، حلقات حافة، إلخ. نظرًا لانخفاض تفاعل وتوصيل كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى الكلور - وغازات الحفر المحتوية على الفلور، فهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز على الحلقات وغيرها عناصر.


على سبيل المثال، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة وعلى اتصال مباشر بالرقاقة، عن طريق تطبيق جهد كهربائي على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين انتظام يعالج. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة التركيز الشائعة، فهو قريب تقريبًا من موصلية رقائق السيليكون، ولكن النقص هو ضعف مقاومة النقش في البلازما المحتوية على الفلور، غالبًا ما تستخدم مواد قطع غيار الآلات لفترة من الوقت، سيكون هناك خطورة ظاهرة التآكل، مما يقلل بشكل خطير من كفاءة الإنتاج.


Sحلقة التركيز SiC الصلبةمبدأ العمل：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


مقارنة بين حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز CVD SiC:

مقارنة حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز الأمراض القلبية الوعائية كربيد
غرض و الأمراض القلبية الوعائية كربيد
الكثافة (جم / سم3) 2.33 3.21
فجوة النطاق (فولت) 1.12 2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم°C) 1.5 5
سي تي إي (x10-6/ درجه مئوية) 2.6 4
معامل المرونة (GPa) 150 440
الصلابة (المعدل العالمي) 11.4 24.5
مقاومة التآكل والتآكل فقير ممتاز


تقدم شركة VeTek Semiconductor أجزاء متقدمة من كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) مثل حلقات التركيز SiC لمعدات أشباه الموصلات. تتفوق حلقات التركيز المصنوعة من كربيد السيليكون الصلب على السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية، والمقاومة الكيميائية، والتوصيل الحراري، والمتانة في درجات الحرارة العالية، ومقاومة الحفر الأيوني.


تتضمن الميزات الرئيسية لحلقات التركيز SiC الخاصة بنا:

كثافة عالية لتقليل معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة نطاق عالية.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض.

مقاومة الصدمات الميكانيكية الفائقة والمرونة.

صلابة عالية، مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل.

تصنيعها باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات، فإن حلقات التركيز SiC الخاصة بنا تلبي المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل قوة وطاقة البلازما الأعلى، خاصة فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)أنظمة.

توفر حلقات التركيز SiC من VeTek Semiconductor أداءً استثنائيًا وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SiC الخاصة بنا للحصول على الجودة والكفاءة الفائقة.


View as  
 
عملية ترسيب البخار الكيميائي حلقة حافة SIC الصلبة

عملية ترسيب البخار الكيميائي حلقة حافة SIC الصلبة

لطالما تم التزام أشباه الموصلات الفيتيك بالبحث والتطوير وتصنيع مواد أشباه الموصلات المتقدمة. اليوم ، أحرزت أشباه الموصلات Vetek تقدمًا كبيرًا في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وهي منتجات حلقة SIC Edge صلبة ، وهي قادرة على تزويد العملاء بحلقات حافة SIC مخصصة للغاية. توفر حلقات حافة SIC الصلبة توحيدًا أفضل ووضع رقاقة دقيق عند استخدامه مع تشاك إلكتروستاتيكي ، مما يضمن نتائج حفر متسقة وموثوقة. نتطلع إلى استفسارك وتصبح شركاء بعضهم البعض على المدى الطويل.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
حلقة الصلبة في التركيز على حلقة التركيز

حلقة الصلبة في التركيز على حلقة التركيز

تعد حلقة التركيز لحفر الرقاقة الصلبة أحد المكونات الأساسية لعملية نقش الرقاقة، والتي تلعب دورًا في تثبيت الرقاقة، وتركيز البلازما وتحسين توحيد نقش الرقاقة. باعتبارها الشركة الرائدة في تصنيع حلقات التركيز لـ SiC في الصين، فإن VeTek Semiconductor لديها تكنولوجيا متقدمة وعملية ناضجة، وتقوم بتصنيع حلقة التركيز لحفر SiC الصلبة التي تلبي تمامًا احتياجات العملاء النهائيين وفقًا لمتطلبات العملاء. نحن نتطلع إلى استفسارك ونصبح شركاء لبعضنا البعض على المدى الطويل.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.
توصيات الأخبار
ما هو حساس الجرافيت المغطى بالكيك؟
ما هو حساس الجرافيت المغطى بالكيك؟عرض المزيد >>
شرح كامل لعملية تصنيع الرقائق (2/2): من الرقاقة إلى التغليف والاختبار
شرح كامل لعملية تصنيع الرقائق (2/2): من الرقاقة إلى التغليف والاختبارعرض المزيد >>
ما هو التطبيق المحدد للأجزاء المغلفة TAC في مجال أشباه الموصلات؟
ما هو التطبيق المحدد للأجزاء المغلفة TAC في مجال أشباه الموصلات؟عرض المزيد >>
ما هي السيراميك كربيد السيليكون؟
ما هي السيراميك كربيد السيليكون؟عرض المزيد >>
تطبيق مواد الحقل الحراري القائم على الكربون في نمو بلورات كربيد السيليكون
تطبيق مواد الحقل الحراري القائم على الكربون في نمو بلورات كربيد السيليكونعرض المزيد >>
تكنولوجيا تحضير السيليكون (SI)
تكنولوجيا تحضير السيليكون (SI)عرض المزيد >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept