منتجات

كربيد السيليكون الصلب

تعتبر كربيد السيليكون الصلبة في الفيتوكية مكونًا مهمًا للسيراميك في معدات حفر البلازما ، كربيد السيليكون الصلب (CVD سيليكون كربيد) تشمل الأجزاء في معدات الحفرتركيز الخواتم، رأس دش الغاز ، صينية ، حلقات الحافة ، وما إلى ذلك بسبب انخفاض التفاعل والتوصيل لكربريد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى غازات الحفر الكلور - والفلور ، وهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز حلقات ومكونات أخرى.


على سبيل المثال ، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة والاتصال المباشر بالرقاقة ، من خلال تطبيق الجهد على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة ، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين توحيد المعالجة. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة مركّزة شائعة ، فهي قريبة تقريبًا من توصيل رقائق السيليكون ، ولكن النقص ضعيف مقاومة الحفر في البلازما المحتوية على الفلور ، وتقلل مواد أجزاء آلة الحفر غالبًا لفترة زمنية ، وسيكون هناك ظاهرة في تآكل خطيرة ، مما يقلل بشكل خطير من فعاليته في إنتاجه.


Sحلقة التركيز Olid sicمبدأ العمل

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING :

مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING
غرض و CVD كذا
الكثافة (ز/سم3) 2.33 3.21
فجوة الفرقة (EV) 1.12 2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
معامل مرن (GPA) 150 440
صلابة (GPA) 11.4 24.5
مقاومة التآكل والتآكل فقير ممتاز


تقدم أشباه الموصلات الفيتيكية كربيد السيليكون المتقدم (CVD CARBIDE) مثل حلقات التركيز على معدات أشباه الموصلات. يتفوق كربيد السيليكون الصلب الذي يركز على حلقات السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية ، والمقاومة الكيميائية ، والتوصيل الحراري ، ومتانة درجة الحرارة العالية ، ومقاومة الحفر الأيوني.


تتضمن الميزات الرئيسية لخواتم التركيز الخاصة بنا SIC:

كثافة عالية لخفض معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة النطاق العالي.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل منخفض للتوسع الحراري.

مقاومة التأثير الميكانيكي المتفوق والمرونة.

صلابة عالية ، وارتداء المقاومة ، ومقاومة التآكل.

المصنعة باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات ، تلبي حلقات تركيزنا في SIC المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل طاقة البلازما المرتفعة والطاقة ، وتحديدا فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)الأنظمة.

توفر حلقات التركيز على أشباه الموصلات في VETEK أداءً استثنائياً وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SIC الخاصة بنا لجودة وكفاءة فائقة.


View as  
 
رأس دش كربيد السيليكون

رأس دش كربيد السيليكون

يحتوي رأس دش كربيد السيليكون على تحمل درجات الحرارة العالي الممتاز ، والاستقرار الكيميائي ، والتوصيل الحراري ، وأداء توزيع الغاز الجيد ، والذي يمكن أن يحقق توزيع غاز موحد ويحسن جودة الفيلم. لذلك ، يتم استخدامه عادة في عمليات درجات الحرارة العالية مثل ترسب البخار الكيميائي (CVD) أو عمليات ترسب البخار الفيزيائي (PVD). مرحبًا بكم مزيد من الاستشارة إلينا ، فتيك أشباه الموصلات.
حلقة ختم كربيد السيليكون

حلقة ختم كربيد السيليكون

بصفتها شركة مصنّعة ومصنع لختم الختم من السيليكون المحترفين في الصين ، تستخدم حلقة ختم السيليكون في سيليكون سيليكون في فتيك على نطاق واسع في معدات معالجة أشباه الموصلات بسبب مقاومة الحرارة الممتازة ، ومقاومة التآكل ، والقوة الميكانيكية والموظف الحراري. إنه مناسب بشكل خاص للعمليات التي تنطوي على درجة حرارة عالية والغازات التفاعلية مثل CVD و PVD وحفر البلازما ، وهي اختيار مادة رئيسية في عملية تصنيع أشباه الموصلات. استفساراتك الإضافية موضع ترحيب.
كتلة كذا CVD لنمو البلورة كذا

كتلة كذا CVD لنمو البلورة كذا

CVD SIC كتلة لنمو البلورة SIC ، هي مادة خام جديدة عالية النقاء التي طورها أشباه الموصلات الفيتيكية. لديها نسبة عالية من المدخلات والمخرجات ويمكن أن تنمو بلورات واحدة عالية الجودة كربيد السيليكون ، وهي مادة من الجيل الثاني لتحل محل المسحوق المستخدم في السوق اليوم. مرحبا بكم لمناقشة القضايا التقنية.
SIC Crystal Growth New Technology

SIC Crystal Growth New Technology

يوصي Carbide من سيليكون فائقة الموصلات النقش (SIC) الذي يتكون من ترسب البخار الكيميائي (CVD) لاستخدامه كمواد مصدر لزراعة بلورات كربيد السيليكون بواسطة نقل البخار المادي (PVT). في النمو الكريستالي SIC ، يتم تحميل مادة المصدر في بوتقة وتساميه على بلورة البذور. استخدم كتل CVD-SIC عالية النقاء لتكون مصدرًا لزراعة بلورات SIC. مرحبًا بك في إنشاء شراكة معنا.
رأس دش كذا CVD

رأس دش كذا CVD

Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في CVD SIC دش الشركة المصنعة والمبتكرة في الصين. لقد كنا متخصصين في مواد SIC لسنوات عديدة. يتم اختيار رأس دش CVD كمواد حلقة تركيز بسبب استقرارها الحراري الممتاز ، والقوة الميكانيكية العالية ومقاومة تآكل البلازما. نتطلع إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.
رأس دش

رأس دش

Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في مجال التصنيع والمبتكرة في الصين في الصين. لقد كنا متخصصين في مواد SIC لسنوات عديدة. يتم اختيار رأس الدش المحلي كمواد حلقة مركزة بسبب استقرارها الحراري الممتاز ، والقوة الميكانيكية العالية ومقاومة البلازما. نتطلع إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept