كربيد السيليكون الصلب

يعتبر كربيد السيليكون الصلب VeTek لأشباه الموصلات مكونًا سيراميكيًا مهمًا في معدات حفر البلازما، وكربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) تشمل الأجزاء الموجودة في معدات الحفرحلقات التركيز، رأس دش غاز، صينية، حلقات حافة، إلخ. نظرًا لانخفاض تفاعل وتوصيل كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى الكلور - وغازات الحفر المحتوية على الفلور، فهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز على الحلقات وغيرها عناصر.

على سبيل المثال، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة وعلى اتصال مباشر بالرقاقة، عن طريق تطبيق جهد كهربائي على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين انتظام يعالج. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة التركيز الشائعة، فهو قريب تقريبًا من موصلية رقائق السيليكون، ولكن النقص هو ضعف مقاومة النقش في البلازما المحتوية على الفلور، غالبًا ما تستخدم مواد قطع غيار الآلات لفترة من الوقت، سيكون هناك خطورة ظاهرة التآكل، مما يقلل بشكل خطير من كفاءة الإنتاج.

Sحلقة التركيز SiC الصلبةمبدأ العمل：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

مقارنة بين حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز CVD SiC:

مقارنة حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز الأمراض القلبية الوعائية كربيد
غرض	و	الأمراض القلبية الوعائية كربيد
الكثافة (جم / سم³)	2.33	3.21
فجوة النطاق (فولت)	1.12	2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم°C)	1.5	5
سي تي إي (x10^-6/ درجه مئوية)	2.6	4
معامل المرونة (GPa)	150	440
الصلابة (المعدل العالمي)	11.4	24.5
مقاومة التآكل والتآكل	فقير	ممتاز

تقدم شركة VeTek Semiconductor أجزاء متقدمة من كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) مثل حلقات التركيز SiC لمعدات أشباه الموصلات. تتفوق حلقات التركيز المصنوعة من كربيد السيليكون الصلب على السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية، والمقاومة الكيميائية، والتوصيل الحراري، والمتانة في درجات الحرارة العالية، ومقاومة الحفر الأيوني.

تتضمن الميزات الرئيسية لحلقات التركيز SiC الخاصة بنا:

كثافة عالية لتقليل معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة نطاق عالية.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض.

مقاومة الصدمات الميكانيكية الفائقة والمرونة.

صلابة عالية، مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل.

تصنيعها باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات، فإن حلقات التركيز SiC الخاصة بنا تلبي المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل قوة وطاقة البلازما الأعلى، خاصة فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)أنظمة.

توفر حلقات التركيز SiC من VeTek Semiconductor أداءً استثنائيًا وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SiC الخاصة بنا للحصول على الجودة والكفاءة الفائقة.

View as

كتلة كذا CVD لنمو البلورة كذا

CVD SIC كتلة لنمو البلورة SIC ، هي مادة خام جديدة عالية النقاء التي طورها أشباه الموصلات الفيتيكية. لديها نسبة عالية من المدخلات والمخرجات ويمكن أن تنمو بلورات واحدة عالية الجودة كربيد السيليكون ، وهي مادة من الجيل الثاني لتحل محل المسحوق المستخدم في السوق اليوم. مرحبا بكم لمناقشة القضايا التقنية.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

SIC Crystal Growth New Technology

يوصي Carbide من سيليكون فائقة الموصلات النقش (SIC) الذي يتكون من ترسب البخار الكيميائي (CVD) لاستخدامه كمواد مصدر لزراعة بلورات كربيد السيليكون بواسطة نقل البخار المادي (PVT). في النمو الكريستالي SIC ، يتم تحميل مادة المصدر في بوتقة وتساميه على بلورة البذور. استخدم كتل CVD-SIC عالية النقاء لتكون مصدرًا لزراعة بلورات SIC. مرحبًا بك في إنشاء شراكة معنا.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

رأس دش كذا CVD

Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في CVD SIC دش الشركة المصنعة والمبتكرة في الصين. لقد كنا متخصصين في مواد SIC لسنوات عديدة. يتم اختيار رأس دش CVD كمواد حلقة تركيز بسبب استقرارها الحراري الممتاز ، والقوة الميكانيكية العالية ومقاومة تآكل البلازما. نتطلع إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

رأس دش

Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في مجال التصنيع والمبتكرة في الصين في الصين. لقد كنا متخصصين في مواد SIC لسنوات عديدة. يتم اختيار رأس الدش المحلي كمواد حلقة مركزة بسبب استقرارها الحراري الممتاز ، والقوة الميكانيكية العالية ومقاومة البلازما. نتطلع إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

حساس البرميل المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S

باعتبارها واحدة من المصانع الرائدة في تصنيع مستقبِلات الرقاقات في الصين، حققت شركة VeTek Semiconductor تقدمًا مستمرًا في منتجات مستقبِلات الرقاقات وأصبحت الخيار الأول للعديد من الشركات المصنعة للرقائق الفوقي. تم تصميم جهاز امتصاص البرميل المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S المقدم من VeTek Semiconductor لرقائق LPE PE2061S مقاس 4 بوصات. يحتوي المستقبِل على طلاء متين من كربيد السيليكون يعمل على تحسين الأداء والمتانة أثناء عملية LPE (المرحلة السائلة). نرحب باستفسارك، ونحن نتطلع إلى أن نصبح شريكك على المدى الطويل.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

رأس دش الغاز الصلب

يلعب رأس الدش المصنوع من غاز SiC الصلب دورًا رئيسيًا في جعل الغاز موحدًا في عملية CVD، وبالتالي ضمان التسخين الموحد للركيزة. لقد شاركت VeTek Semiconductor بعمق في مجال أجهزة SiC الصلبة لسنوات عديدة وهي قادرة على تزويد العملاء برؤوس دش تعمل بالغاز Solid SiC مخصصة. بغض النظر عن متطلباتك، نحن نتطلع إلى استفسارك.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف
+86-18069220752
فاكس
+86-579-87223657
بريد إلكتروني
anny@veteksemi.com
عنوان
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين

قائمة الويب

بحث منتوج

لغة

قائمة الخروج

كربيد السيليكون الصلب

تتضمن الميزات الرئيسية لحلقات التركيز SiC الخاصة بنا:

كتلة كذا CVD لنمو البلورة كذا

SIC Crystal Growth New Technology

رأس دش كذا CVD

رأس دش

حساس البرميل المطلي بـ SiC لـ LPE PE2061S

رأس دش الغاز الصلب

إرسال الاستفسار

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف

فاكس

بريد إلكتروني

عنوان