رأس دش على شكل قرص صلب

يتمثل دور رأس الدش الصلب على شكل قرص في عملية CVD في توزيع غاز التفاعل بالتساوي فوق منطقة الترسيب بحيث يمكن نشر الغاز بالتساوي في جميع أنحاء المفاعل للحصول على فيلم مسطح وموحد.

يتم تعيين رأس دش SIC الصلب في الجزء العلوي من فرن CVD أو بالقرب من مدخل الغاز. يدخل غاز التفاعل في البنية على شكل قرص من خلال الثقوب الموزعة على رأس الحمام وينتشر على طول سطح رأس الدش. من خلال تصميم القناة المتعددة ومنافذات موزعة بالتساوي ، يمكن أن يتدفق غاز التفاعل بالتساوي إلى منطقة المفاعل بأكمله ، وتجنب التركيز أو الاضطراب ، وضمان اتساق سمك الطبقة المودعة على الركيزة.

في الوقت نفسه ، فإن هيكل رأس دش أشباه أشباه الموصلات على شكل أشباه الموصلات له تأثير انتشار ، والذي يمكن أن يقلل بشكل فعال من معدل تدفق الغاز ، بحيث يمكن نشره بالتساوي في مخرج الفوهة ، ويقلل من تأثير تغيرات غاز المحلية على تأثير الترسب. يساعد على تجنب تأثير الغاز المباشر على الركيزة ومنع مشكلة الترسب غير المتكافئ.

من منظور المواد ، يتكون رأس دش الغاز الصلب من مواد SIC ذات المقاومة عالية الحرارة ، ومقاومة للتآكل ، وعالية القوة مع استقرار عالي للغاية. يمكن أن تعمل بشكل ثابت لفترة طويلة في فرن الأمراض القلبية الوعائية ولديها حياة طويلة.

يوفر Fetek Semiconductor خدمات مخصصة عالية الجودة. يمكن تعديل شكل وتخطيط ثقب رأس الدش الصلب على شكل قرص مرن وفقًا لمتطلبات عملية العميل للتكيف مع أنواع الغاز المختلفة ومعدلات التدفق ومواد الترسيب. بالنسبة لأحجام مختلفة من المفاعلات أو أحجام الركيزة ، يمكن تخصيص رؤوس الدش على شكل قرص بأقطار مختلفة وتوزيعات الثقب لتحسين تأثير توزيع الغاز.

لدى أشباه الموصلات الفيتيك عمليات ناضجة وتقنيات متقدمة لمنتجات رأس دش أشباه الموصلات الصلبة ، مما يساعد عددًا كبيرًا من العملاء على تحقيق تقدم مستمر في عمليات الأمراض القلبية الوعائية. تتطلع أشباه الموصلات الفيتيكية إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

الخصائص الفيزيائية لسكاكة صلبة

انها أشباه الموصلاتمتاجر إنتاج رأس دش على شكل قرص متين