حلقة حافة كذا

في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، فإن حلقات SIC Edge ، كمكونات أساسية لمعدات معالجة الرقاقة ، تحدث ثورة في المشهد الصناعي بخصائصها المادية. لا تكمن قيمة هذا المكون الدقيق المصنوع من بلورات كربريد السيليكون المفردة فقط في محتواه عالية التقنية ، ولكن أيضًا في التحسن الكبير في العائد وتحسين تكاليف التشغيل التي يمكن أن تجلبها إلى الشركات المصنعة للرقائق.

خصائص هيكلية حلقة الحافة

تعتبر حلقات حافة كربيد السيليكون مكونات قابلة للاستهلاك في معدات حفر أشباه الموصلات وهي مصنوعة من مواد كربيد السيليكون عالية النقاء التي أعدتها طريقة ترسيب البخار الكيميائي (CVD). عادة ما يكون قطر بنيته الحلقي 200-450 مم ، ويتم التحكم في السماكة في غضون 5-15 ملم ، ويتميز بالخصائص التالية:

1. التسامح extreme: يمكن أن تصمد أمام بيئة عالية الحرارة من 1500 ℃

2. استقرار البلازما: ثابت العزل الكهربائي 9.7 ، جهد الانهيار 3MV/سم

3. الدقة الهندسية: خطأ في الدائرة .05 ملم ، خشونة السطح RA <0.2μm

اختراق في عملية التصنيع

تعتمد عملية التحضير الحديثة طريقة من ثلاث مراحل:

1. تشكيل المصفوفة: تشكيل الضغط المتساوي يضمن كثافة موحدة

2. تلبد درجة الحرارة العالية: علاج تكثيف في جو خامل في 2100 ℃

3. تعديل السطح: تتشكل طبقات الحماية النانوية من خلال حفر الأيونات التفاعلية (RIE). أظهر آخر الأبحاث أن عمر خدمة حلقات حافة كربيد السيليكون المخدر بنسبة 3 ٪ يزداد بنسبة 40 ٪ ، ويتم تخفيض معدل تلوث الرقاقة إلى مستوى 0.01PPM

سيناريوهات التطبيق

إنه يظهر غير قابلية للشفاء في العمليات التي تقل عن 5 نانومتر:

2. التوحيد الحفر: يمكن أن يحافظ على انحراف معدل النقش بنسبة ± 1.5 ٪ على حافة الويفر

3. التحكم في التلوث: يقلل من تلوث المعادن بنسبة 92 ٪ مقارنة بمواد الكوارتز التقليدية

4. دورة الصيانة: يمكن أن تعمل بشكل مستمر لمدة 1500 ساعة في البلازما CF4/O2

لقد حقق Veteksemicon طفرة في الإنتاج المحلي لحلقات SIC Edge ، والتي يمكن أن توفر الكثير من نفقات التكلفة. مرحبًا بك في الاتصال بنا في أي وقت!