حلقات التركيز الصلبة SiC

1. ميزات المنتج

● النقاء (تم التحقق من نظام GDMS): > 99.99995% (حتى 6N-7N) | يحافظ على الغرفة خالية من مخاطر المعادن النزرة.

● الصلابة الهيكلية: ≥3.21 جم/سم3 | يصل إلى الكثافة النظرية. لا يترك أي فراغات لإطلاق الغازات أو إخفاء الجزيئات الدقيقة.

● التنظيم الحراري: 200 - 300 وات/م·ك | ينشر الحرارة بسرعة للحفاظ على درجات حرارة حافة الرقاقة متساوية تمامًا.

● المدى الكهربائي: 0.01 - 10 أوم | مقاومة قابلة للتكيف لتثبيت غمد البلازما وتحسين اتصال التردد اللاسلكي. صلابة السطح: ≥2500 HV | يقاوم التآكل الكاشط أثناء دورات الحفر الجاف المستمرة.

2. التطبيقات 

● عملية الحفر بالبلازما المتقدمة

● عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة (PECVD/ALD)

● تعتبر حلقات الحفر الصلبة من SiC من المواد الاستهلاكية الرئيسية في تصنيع الرقائق المتقدمة، وتستخدم لضمان توحيد عمليات حافة الرقاقة، وتحسين الإنتاجية وإطالة عمر المكونات في عمليات حفر البلازما وترسيبها.

3. حل نقاط ضعف القوات المسلحة البوروندية

● المشكلة: وقت الخمول الباهظ التكلفة بسبب التآكل السريع للأجزاء

الحل:  تُظهر بنية Vetek التي تمت زراعتها بتقنية CVD وتيرة تآكل أبطأ من 10 إلى 20 مرة من الكوارتز وأبطأ من 3 إلى 5 مرات من السيليكون السائب. تحصل المصانع على فترات إنتاج أطول وعدد أقل بكثير من فتحات غرف الطوارئ.

● المشكلة: انهيار إنتاجية الحافة ("تأثير الحافة")

الحل: يؤدي التآكل البطيء والمتوقع عبر وجه الحلقة إلى منع غمد البلازما من الميل بمرور الوقت. وهذا يحافظ على حدود البعد الحرج (CD) الضيقة عند محيط الرقاقة.

● المشكلة: طفرات معيبة ناتجة عن تساقط الأجزاء الملبدة

الحل: تخليق الطور الغازي الخاص بنا لا يترك وراءه أي رابط لحدود الحبوب أو الحشوات المعدنية. بدون هذه النقاط الضعيفة، لن تتقشر الحلقة أو تسبب عيوبًا دقيقة على سطح الرقاقة.

4. دعم هندسي مخصص

● تكامل الأدوات مباشرة: يتم تصنيعها خصيصًا لتتوافق مع مواصفات التباعد الصارمة للعلامات التجارية العالمية للحفر مثل Lam، وAMAT، وTEL.

● مطابقة المقاومة: نقوم بضبط الملف الكهربائي لكل دفعة لتتماشى بشكل مثالي مع معلمات الوصفة المحددة الخاصة بك.

● التشطيبات المتقدمة: يستخدم التخطيط الميكانيكي الكيميائي فائق النظافة (CMP) لتنعيم الأسطح الخشنة، مما يقلل عدد الجسيمات أثناء عملية التتبيل المبكرة للأدوات.

● عوامل الشكل المعقدة: نحن نحتفظ بتفاوتات صارمة (±0.01 مم) على حلقات الحواف الصعبة والمتعددة الخطوات وإعدادات الحلقات المتشابكة.

مستودع Vetek لأشباه الموصلات: