مؤيد برنامج التحصين الموسع

VETEK Semiconductor هي شركة Professional China Epi رائدة في شركة ALD Planetary Tugor و TAC المصنعة لدعم الجرافيت المطلي TAC. و دعم برنامج التحصين الموسع لدينا هو مكون مهم منالنمو الفوقيفي عملية تصنيع أشباه الموصلات. تتمثل وظيفتها الرئيسية في دعم وتسخين الرقاقة بحيث يمكن زراعة الطبقة الفوقية عالية الجودة بشكل موحد على سطح الرقاقة.

عادةً ما يتم تصنيع مشكلات EPI الخاصة بـ Vetek Semiconductors من الجرافيت عالي النقاء ومغلفة بطبقة من كربيد السيليكون (SIC).هذا التصميم له المزايا الرئيسية التالية:

● استقرار ارتفاع درجة الحرارة.

● مقاومة التآكل: طلاء SIC له مقاومة تآكل ممتازة ويمكن أن يقاوم تآكل الغازات الكيميائية ، مما يزيد من عمر خدمة الدرج.

● الموصلية الحرارية: يضمن الموصلية الحرارية العالية للمواد SIC توزيع درجة حرارة موحدة للويفر أثناء التسخين ، وبالتالي تحسين جودة الطبقة الفوقية.

● مطابقة معامل التمدد الحراري: يشبه معامل التمدد الحراري لـ SIC معامل الجرافيت ، وتجنب مشكلة التخلص من التوسع الحراري والانكماش.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لـCVD كذا طلاء:

متجر إنتاج طلاء CVD SIC:

لمحة عامة عن سلسلة صناعة شريحة أشباه الموصلات: