أخبار الصناعة

يتضمن نمو كربيد السيليكون (SiC) PVT دورات حرارية شديدة (درجة حرارة الغرفة أعلى من 2200 درجة مئوية). يعد الإجهاد الحراري الهائل المتولد بين الطلاء والركيزة الجرافيتية بسبب عدم التطابق في معاملات التمدد الحراري (CTE) هو التحدي الأساسي الذي يحدد عمر الطلاء وموثوقية التطبيق.

في عملية نمو بلورات كربيد السيليكون (SiC) PVT، يحدد استقرار وتوحيد المجال الحراري بشكل مباشر معدل نمو البلورات وكثافة العيوب وتوحيد المواد. باعتبارها حدود النظام، تظهر مكونات المجال الحراري خواص فيزيائية حرارية سطحية تتضخم تقلباتها الطفيفة بشكل كبير في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة، مما يؤدي في النهاية إلى عدم الاستقرار في واجهة النمو.

في عملية زراعة بلورات كربيد السيليكون (SiC) عبر طريقة نقل البخار الفيزيائي (PVT)، تعد درجة الحرارة المرتفعة للغاية التي تتراوح بين 2000 و2500 درجة مئوية بمثابة "سيف ذو حدين" - فبينما تؤدي إلى التسامي ونقل المواد المصدرية، فإنها تعمل أيضًا على تكثيف إطلاق الشوائب بشكل كبير من جميع المواد داخل نظام المجال الحراري، وخاصة العناصر المعدنية النزرة الموجودة في مكونات المنطقة الساخنة التقليدية من الجرافيت. بمجرد دخول هذه الشوائب إلى واجهة النمو، فإنها ستلحق الضرر المباشر بالجودة الأساسية للكريستال. هذا هو السبب الأساسي وراء تحول طلاءات كربيد التنتالوم (TaC) إلى "خيار إلزامي" وليس "اختيارًا اختياريًا" لنمو بلورات PVT.