أخبار الصناعة

تصف هذه المقالة بشكل رئيسي آفاق التطبيق الواسعة لسيراميك سيليكون كربيد. ويركز أيضًا على تحليل أسباب الشقوق الملبدة في سيراميك كربيد السيليكون والحلول المقابلة.

غالبًا ما تواجه تقنية الحفر في تصنيع أشباه الموصلات مشاكل مثل تأثير التحميل وتأثير الأخدود الصغير وتأثير الشحن، مما يؤثر على جودة المنتج. تتضمن حلول التحسين تحسين كثافة البلازما، وضبط تكوين غاز التفاعل، وتحسين كفاءة نظام التفريغ، وتصميم تخطيط الطباعة الحجرية المعقول، واختيار مواد قناع النقش وظروف العملية المناسبة.

التلبد الساخن هو الطريقة الرئيسية لإعداد سيراميك SIC عالي الأداء. تشمل عملية التلبيد الضغط الساخن: اختيار مسحوق SIC عالي النقاء ، والضغط والتشكيل تحت درجة حرارة عالية وضغط عالي ، ثم تلبيس. تحتوي السيراميك SIC على هذه الطريقة على مزايا نقاء عالية وكثافة عالية ، وتستخدم على نطاق واسع في أقراص الطحن ومعدات المعالجة الحرارية لمعالجة الرقاقة.

تتضمن طرق النمو الرئيسية لكربيد السيليكون (SiC) PVT، وTSSG، وHTCVD، ولكل منها مزايا وتحديات مميزة. تعمل مواد المجال الحراري المعتمدة على الكربون مثل أنظمة العزل والبوتقات وطلاءات TaC والجرافيت المسامي على تعزيز نمو البلورات من خلال توفير الاستقرار والتوصيل الحراري والنقاء، وهو أمر ضروري لتصنيع وتطبيق SiC الدقيق.

SIC لديها صلابة عالية ، والتوصيل الحراري ، ومقاومة التآكل ، مما يجعلها مثالية لتصنيع أشباه الموصلات. يتم إنشاء طلاء CVD SIC من خلال ترسب البخار الكيميائي ، مما يوفر الموصلية الحرارية العالية ، والاستقرار الكيميائي ، وشبكة شعرية مطابقة للنمو الفوقي. يضمن التوسع الحراري المنخفض والصلابة العالية المتانة والدقة ، مما يجعله ضروريًا في تطبيقات مثل حاملات الرقاقة ، وحلقات التسخين ، والمزيد. Vetek Semiconductor متخصص في الطلاء المخصص لتلبية احتياجات الصناعة المتنوعة.