أخبار الصناعة

الطرق الرئيسية لتنمية البلورات الفردية SIC هي: نقل البخار الفيزيائي (PVT) ، وترسب البخار الكيميائي ذو درجة الحرارة العالية (HTCVD) ونمو محلول درجة الحرارة العالية (HTSG).

مع تطوير صناعة الطاقة الكهروضوئية الشمسية ، فإن أفران الانتشار وأفران LPCVD هي المعدات الرئيسية لإنتاج الخلايا الشمسية ، والتي تؤثر بشكل مباشر على الأداء الفعال للخلايا الشمسية. استنادًا إلى أداء المنتج الشامل وتكلفة الاستخدام ، تتمتع مواد السيراميك بالسيليكون بمزيد من المزايا في مجال الخلايا الشمسية أكثر من مواد الكوارتز. يمكن أن يساعد تطبيق مواد سيراميك كربيد السيليكون في صناعة الكهروضوئية بشكل كبير في تقليل تكاليف الاستثمار في المواد الإضافية ، وتحسين جودة المنتج والقدرة التنافسية. إن الاتجاه المستقبلي للمواد السيراميك السيليكون في الحقل الكهروضوئي يتجه أساسًا إلى نقاء أعلى ، وسعة الحمل الأقوى ، وسعة التحميل المرتفعة ، وتكلفة أقل.

تحلل المقالة التحديات المحددة التي تواجهها عملية طلاء CVD TaC لنمو بلورة SiC الفردية أثناء معالجة أشباه الموصلات، مثل مصدر المواد والتحكم في النقاء، وتحسين معلمات العملية، والتصاق الطلاء، وصيانة المعدات واستقرار العملية، وحماية البيئة والتحكم في التكاليف، كما وكذلك حلول الصناعة المقابلة.

من منظور التطبيق لنمو بلورة أحادية SiC، تقارن هذه المقالة المعلمات الفيزيائية الأساسية لطلاء TaC وطلاء SIC، وتشرح المزايا الأساسية لطلاء TaC على طلاء SiC من حيث مقاومة درجات الحرارة العالية، والثبات الكيميائي القوي، وتقليل الشوائب، و تكاليف أقل.

هناك العديد من أنواع معدات القياس في مصنع FAB. تشمل المعدات الشائعة معدات قياس عملية الطباعة الحجرية ، ومعدات قياس عملية الحفر ، ومعدات قياس عملية ترسب الأفلام الرقيقة ، ومعدات قياس عملية المنشطات ، ومعدات قياس عملية CMP ، ومعدات الكشف عن جسيمات الرقاقة وغيرها من معدات القياس.

يمكن لطلاء Tantalum Carbide (TAC) أن يمتد بشكل كبير من عمر أجزاء الجرافيت عن طريق تحسين مقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل والخصائص الميكانيكية وقدرات الإدارة الحرارية. تقلل خصائص نقاءها العالية من تلوث الشوائب ، وتحسين جودة نمو البلورة ، وتعزيز كفاءة الطاقة. وهي مناسبة لتصنيع أشباه الموصلات وتطبيقات النمو البلوري في بيئات عالية الحرارة ، وتآكل للغاية.