أخبار الصناعة

تتناول هذه المقالة بشكل أساسي مزايا العملية والاختلافات بين عملية تنضيد الشعاع الجزيئي وتقنيات ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي.

يتمتع كربيد التنتالوم المسامي من VeTek Semiconductor، باعتباره جيلًا جديدًا من مواد النمو البلورية SiC، بالعديد من خصائص المنتج الممتازة ويلعب دورًا رئيسيًا في مجموعة متنوعة من تقنيات معالجة أشباه الموصلات.

مبدأ عمل الفرن الفوقي هو ترسيب مواد أشباه الموصلات على الركيزة تحت درجة حرارة عالية وضغط مرتفع. النمو الفوقي للسيليكون هو نمو طبقة من البلورة لها نفس الاتجاه البلوري مثل الركيزة وسمك مختلف على ركيزة بلورية مفردة من السيليكون ذات اتجاه بلوري معين. تقدم هذه المقالة بشكل أساسي طرق النمو الفوقي للسيليكون: الفوقية في الطور البخاري والفوقية في الطور السائل.

يتم استخدام ترسيب البخار الكيميائي (CVD) في صناعة أشباه الموصلات لترسيب مواد الأغشية الرقيقة في الغرفة، بما في ذلك SiO2 وSiN وما إلى ذلك، وتشمل الأنواع شائعة الاستخدام PECVD وLPCVD. من خلال ضبط درجة الحرارة والضغط ونوع غاز التفاعل، تحقق CVD درجة نقاء عالية وتجانسًا وتغطية جيدة للأغشية لتلبية متطلبات العمليات المختلفة.

تصف هذه المقالة بشكل رئيسي آفاق التطبيق الواسعة لسيراميك سيليكون كربيد. ويركز أيضًا على تحليل أسباب الشقوق الملبدة في سيراميك كربيد السيليكون والحلول المقابلة.