أخبار الصناعة

في إعداد ركائز كربيد السيليكون عالية الجودة وعالية العائد ، يتطلب القلب التحكم الدقيق في درجة حرارة الإنتاج عن طريق مواد حقل حرارية جيدة. حاليًا ، تعد مجموعات بوتقة المجال الحراري المستخدمة بشكل أساسي مكونات هيكلية للجرافيت عالية النقاء ، والتي تتمثل وظائفها في تسخين مسحوق الكربون المنصهر ومسحوق السيليكون وكذلك للحفاظ على الحرارة.

عندما ترى أشباه الموصلات من الجيل الثالث ، ستتساءل بالتأكيد عن الأجيال الأولى والثانية. يتم تصنيف "الجيل" هنا على أساس المواد المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات.

إن تشاك الإلكتروستاتيكي (ESC) ، المعروف أيضًا باسم electrostatic chuck (ESC ، e-chuck) ، هو تركيبات تستخدم مبدأ الامتزاز الإلكتروستاتيكي للاحتفاظ بالمواد الممتصة وإصلاحها. إنه مناسب لبيئات الفراغ والبلازما.