أنبوب فرن الكوارتز لفرن الانتشار

1. الميزات والمزايا الرئيسية

• كوارتز منصهر منصهر منزوع الهيدروكسيل عالي النقاء للغاية (SiO₂ ≥ 99.999%) مع شوائب معدنية يتم التحكم فيها عند مستويات ppb ومحتوى هيدروكسيل منخفض للغاية

• درجة حرارة التشغيل على المدى الطويل تصل إلى 1100 درجة مئوية. مقاومة الذروة على المدى القصير إلى 1200 درجة مئوية

• مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية بعد التلدين الكامل لتخفيف الضغط - مقاومة للتشقق في ظل التغيرات السريعة في درجات الحرارة

• الخمول الكيميائي المتميز ضد الأكسدة والاختزال وغازات المعالجة المحتوية على الهالوجين. مناسبة للبلازما والأجواء المسببة للتآكل

• إطلاق الغازات فراغ منخفض جداً. يقلل الجدار الداخلي الأملس من تراكم المنتجات الثانوية ويدعم إمكانية تكرار العملية

• تشكيل من قطعة واحدة بسماكة جدار موحدة، ومحورية عالية، ونهايات دقيقة من أجل إحكام موثوق

• هياكل قابلة للتخصيص: أنابيب مستقيمة، وأنابيب مخفض، وأنابيب ذات حواف، وأطوال ممتدة، وتكوينات نهائية خاصة للأفران الرأسية أو الأفقية

2. التطبيقات النموذجية

تستخدم أنابيب فرن الكوارتز VeTek على نطاق واسع كغرفة التفاعل الأساسية في:

• أفران الأكسدة الحرارية (الأكسدة الجافة/الرطبة)

• أفران الانتشار لإدخال المنشطات (B، P، As، إلخ.)

• أنظمة LPCVD لترسيب الأغشية الرقيقة

• التلدين الفراغي وعمليات المعالجة الحرارية الأخرى ذات درجات الحرارة العالية

• متوافق مع منصات الويفر مقاس 4 بوصة و6 بوصة و8 بوصة و12 بوصة (ركائز Si وSiC وGaN والياقوت)

إنها تدعم المنطق، والذاكرة، وجهاز الطاقة، وMCU، وLED، وMEMS، وخطوط تصنيع أشباه الموصلات واسعة النطاق التي تتطلب توحيد درجة الحرارة بشكل ثابت، والتحكم في تدفق الغاز، وبيئات معالجة فائقة النظافة.

3. المعلمات التقنية الرئيسية

• المادة: كوارتز منصهر منزوع الهيدروكسيل بدرجة أشباه الموصلات (SiO₂ ≥ 99.999%)، هيدروكسيل منخفض، شوائب معدنية منخفضة

• توافق الرقاقة: 4 / 6 / 8 / 12 بوصة

• درجة حرارة العمل على المدى الطويل: -20 درجة مئوية إلى 1100 درجة مئوية؛ ذروة قصيرة المدى تصل إلى 1200 درجة مئوية

• العملية: التشكيل الحراري لقطعة واحدة، تجانس الجدار، التشطيب النهائي، التلدين لتخفيف الضغط، اختبار تسرب الهيليوم، التنظيف فائق النظافة

• الهياكل المتاحة: أنبوب مستقيم، أنبوب مخفض، أنبوب ذو حواف، أنبوب ممتد / طول مخصص، تكوينات ذات نهاية خاصة

• التخصيص: القطر الداخلي/الخارجي، والطول، وسمك الجدار، ومواصفات الحافة، والأشكال الهندسية الخاصة وفقًا لرسومات العميل

4. لماذا تختار أنابيب فرن الكوارتز VeTek؟

باعتبارها شركة مصنعة محترفة لمكونات الكوارتز شبه الموصلة، تقدم VeTek Semiconductor ما يلي:

• أنابيب فرن كوارتز عالية النقاء مصممة للأكسدة، والانتشار، وLPCVD، ومعدات التلدين

• رقابة صارمة على النقاء، ودقة الأبعاد، والنظافة المناسبة لإنتاج غرف الأبحاث من الفئة 10 / الفئة 100

• التخصيص الكامل والتصميمات المتوافقة مع OEM لأفران الأنابيب الرأسية والأفقية

• منتجات الكوارتز شبه الموصلة التكميلية بما في ذلك قوارب الويفر، والبوتقات، والبطانات، ومكونات العملية الأخرى

تساعد أنابيب فرن الكوارتز الخاصة بنا في الحفاظ على الظروف الحرارية وتدفق الغاز المستقرة، وتقليل تلوث الجسيمات والمعادن، وإطالة عمر الخدمة في ظل التدوير المستمر لدرجات الحرارة المرتفعة - مما يدعم إنتاجية أعلى وتكلفة ملكية أقل في المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات.