أخبار

تحلل المقالة الخواص المادية لرقائق ركيزة أشباه الموصلات مثل السيليكون، وGaAs، وSiC، وGaN

تصف هذه المقالة بشكل أساسي التكنولوجيا الفوقية ذات درجة الحرارة المنخفضة المستندة إلى GAN ، بما في ذلك الهيكل البلوري للمواد القائمة على GAN ، 3. متطلبات التكنولوجيا الفوقية وحلول التنفيذ ، ومزايا التكنولوجيا الفوقية للدرجات الحرارة المنخفضة على أساس مبادئ PVD ، وآفاق التطوير للتكنولوجيا الفوقية منخفضة درجة الحرارة.

تقدم هذه المقالة أولاً التركيب الجزيئي والخصائص الفيزيائية لـ TAC ، وتركز على اختلافات وتطبيقات كربيد tantalum المتلألئ وكربيد Tantalum CVD ، وكذلك منتجات طلاء TAC الشهيرة في أشباه الموصلات النقش.

تقدم هذه المقالة خصائص المنتج لطلاء TAC CVD ، وعملية إعداد طلاء TAC CVD باستخدام طريقة CVD ، والطريقة الأساسية للكشف عن التشكل السطحي لطلاء TAC CVD المعدة.