MOCVD SiC المغلفة

المعلمات التقنية

هيكل كريستالي لفيلم CVD

تعريف المنتج وتكوينه

يعد VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor مكونًا متميزًا يحمل الرقاقة مصممًا خصيصًا للمعالجة الفوقية لأشباه الموصلات من الجيل الثالث، مثل GaN وSiC. يدمج هذا المنتج الخصائص الفيزيائية الفائقة لمادتين عاليتي الأداء:

الركيزة الجرافيت عالية النقاء: تم تصنيعها باستخدام تقنية الضغط المتوازن لضمان أن المادة الأساسية تتمتع بسلامة هيكلية استثنائية، وكثافة عالية، واستقرار المعالجة الحرارية.

طلاء CVD SiC: تتم زراعة طبقة واقية كثيفة وخالية من الإجهاد من كربيد السيليكون (SiC) على سطح الجرافيت من خلال تقنية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المتقدمة.

لماذا VETEK هو ضمان العائد الخاص بك

الدقة المطلقة في التحكم في التجانس الحراري: على عكس الناقلات التقليدية، تحقق مستقبلات VETEK نقلًا متزامنًا للغاية للحرارة عبر السطح بأكمله من خلال التحكم الدقيق بمقياس النانومتر في سماكة الطلاء والمقاومة الحرارية. تعمل هذه الإدارة الحرارية المتطورة على تقليل الانحراف المعياري لطول الموجة (STD) على سطح الرقاقة بشكل فعال، مما يعزز بشكل كبير جودة الرقاقة المفردة واتساق الدفعة بشكل عام.

حماية طويلة الأمد مع عدم تلوث الجسيمات: في غرف التفاعل MOCVD التي تحتوي على غازات شديدة التآكل، تكون قواعد الجرافيت العادية عرضة لتقشر الجسيمات. يتميز طلاء CVD SiC من VETEK بخمول كيميائي استثنائي، حيث يعمل كدرع لا يمكن اختراقه ويغلق مسام الجرافيت الدقيقة. وهذا يضمن العزل التام لشوائب الركيزة، مما يمنع أي تلوث للطبقات الفوقية لـ GaN أو SiC.

مقاومة التعب الاستثنائية وعمر الخدمة:بفضل عملية معالجة الواجهة الخاصة بشركة VETEK، يحقق طلاء SiC الخاص بنا تطابقًا مثاليًا للتمدد الحراري مع ركيزة الجرافيت. حتى في ظل التدوير الحراري عالي التردد بين درجات الحرارة القصوى، يحافظ الطلاء على التصاق فائق دون تقشير أو ظهور تشققات صغيرة. وهذا يقلل بشكل كبير من تكرار صيانة قطع الغيار ويقلل التكلفة الإجمالية للملكية.

ورشة عمل لدينا