سخان MOCVD مطلي بطبقة SiC من الجرافيت

MOCVD هي تقنية نمو أفلام رقيقة دقيقة تستخدم على نطاق واسع في تصنيع الأجهزة الإلكترونية الضوئية والكهربائية. من خلال تقنية MOCVD ، يمكن إيداع أفلام مواد أشباه الموصلات عالية الجودة على ركائز (مثل السيليكون ، الياقوت ، كربيد السيليكون ، إلخ).

في معدات MOCVD، يوفر سخان MOCVD المطلي بالجرافيت SiC بيئة تسخين موحدة ومستقرة في غرفة التفاعل ذات درجة الحرارة العالية، مما يسمح بمواصلة التفاعل الكيميائي لمرحلة الغاز، وبالتالي ترسيب الطبقة الرقيقة المطلوبة على سطح الركيزة.

يتكون سخان MOCVD من طلاء الأطباء في VETEK من مادة الجرافيت عالية الجودة مع طلاء SIC. يولد سخان MOCVD الجرافيت المغطى بالحرارة من خلال مبدأ تسخين المقاومة.

جوهر سخان الجرافيت MOCVD طلاء SIC هو الركيزة الجرافيت. يتم تطبيق التيار من خلال مصدر طاقة خارجي ، ويتم استخدام خصائص المقاومة للجرافيت لتوليد الحرارة لتحقيق درجة حرارة عالية مطلوبة. الموصلية الحرارية لركيزة الجرافيت ممتازة ، والتي يمكن أن تجري الحرارة بسرعة ونقل درجة الحرارة بالتساوي إلى سطح المدفأة بأكمله. في الوقت نفسه ، لا يؤثر طلاء SIC على الموصلية الحرارية للجرافيت ، مما يسمح للسخان بالاستجابة بسرعة لتغيرات درجة الحرارة وضمان توزيع درجة الحرارة الموحدة.

الجرافيت النقي عرضة للأكسدة في ظل ظروف درجة الحرارة العالية. يقوم طلاء SIC بفعالية عزل الجرافيت من الاتصال المباشر مع الأكسجين ، وبالتالي منع تفاعلات الأكسدة وتوسيع عمر السخان. بالإضافة إلى ذلك ، تستخدم معدات MOCVD غازات تآكل (مثل الأمونيا ، الهيدروجين ، إلخ) لترسب البخار الكيميائي. يمكّنه الاستقرار الكيميائي لطلاء SIC من مقاومة تآكل هذه الغازات المسببة للتآكل بشكل فعال وحماية الركيزة الجرافيت.

في ظل درجات حرارة عالية ، قد تطلق مواد الجرافيت غير المصنفة جزيئات الكربون ، مما سيؤثر على جودة ترسيب الفيلم. يمنع تطبيق طلاء SIC إطلاق جزيئات الكربون ، مما يسمح بإجراء عملية MOCVD في بيئة نظيفة ، وتلبية احتياجات تصنيع أشباه الموصلات مع متطلبات نظافة عالية.

أخيرًا، عادةً ما يتم تصميم سخان MOCVD من الجرافيت المطلي بطبقة SiC بشكل دائري أو أي شكل منتظم آخر لضمان درجة حرارة موحدة على سطح الركيزة. يعد توحيد درجة الحرارة أمرًا بالغ الأهمية للنمو الموحد للأغشية السميكة، خاصة في عملية النمو الفوقي MOCVD لمركبات III-V مثل GaN وInP.

تقدم أشباه الموصلات Vetek خدمات التخصيص المهنية. تمكننا إمكانات التصنيع الرائدة في الصناعة وطلاء SIC من تصنيع السخانات ذات المستوى الأعلى لمعدات MOCVD ، وهي مناسبة لمعظم معدات MOCVD.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SiC

حق النقض شبه الموصلات SIC طلاء الجرافيت متاجر سخان MOCVD