حاملة رقاقة مغلفة كذا للحفر

التطبيق الأساسي لحامل الرقاقة المطلي SIC لحفر عملية الحفر

1. نمو فيلم GAN والحفر في تصنيع LED

يتم استخدام شركات النقل المغلفة SIC (مثل حاملة الحفر PSS) لدعم ركائز الياقوت (الركيزة الياقوت المزخرفة ، PSS) في إنتاج LED وأداء ترسب البخار الكيميائي (MOCVD) لأفلام نيتريد غاليوم (GAN) في درجات حرارة عالية. ثم تتم إزالة الناقل عن طريق عملية الحفر الرطب لتشكيل البنية المجهرية السطحية لتحسين كفاءة استخراج الضوء.

دور رئيسي: يحتاج حامل الرقاقة إلى تحمل درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية والتآكل الكيميائي في بيئة حفر البلازما. إن النقاء العالي (99.99995 ٪) وكثافة طلاء SIC يمنعون تلوث المعادن ويضمن توحيد فيلم GAN.

2. أشباه الموصلات البلازما/عملية الحفر الجافة

فيICP (البلازما المقترنة بشكل استقراء) الحفر، تحقق شركات النقل المغلفة SIC توزيع حرارة موحدة من خلال تصميم تدفق الهواء الأمثل (مثل وضع تدفق الصفحي) ، وتجنب انتشار الشوائب ، وتحسين دقة الحفر. على سبيل المثال ، يمكن لحركة نقش ICP المغلفة من Veteksemicon أن تحمل درجة حرارة تسامي تبلغ 2700 درجة مئوية وهي مناسبة لبيئات البلازما عالية الطاقة.

3. تصنيع الخلايا الشمسية وأجهزة الطاقة

تؤدي حاملات SIC جيدًا في انتشار درجات الحرارة العالية وحفر رقائق السيليكون في الحقل الكهروضوئي. يقلل معامل التمدد الحراري المنخفض (4.5 × 10⁻⁶/K) من التشوه الناجم عن الإجهاد الحراري ويمتد عمر الخدمة.

الخصائص الفيزيائية ومزايا الناقل الويفر المطلي بالسكان للحفر

1. التسامح مع البيئات القاسية:

ثبات درجات الحرارة العالي:CVD كذا طلاءيمكن أن تعمل في الهواء 1600 درجة مئوية أو بيئة فراغ 2200 درجة مئوية لفترة طويلة ، وهو أعلى بكثير من ناقلات الكوارتز التقليدية أو الجرافيت.

مقاومة التآكل: تتمتع SIC بمقاومة ممتازة للأحماض والأقلال والأملاح والمذيبات العضوية ، وهي مناسبة لخطوط إنتاج أشباه الموصلات مع التنظيف الكيميائي المتكرر.

2. الخواص الحرارية والميكانيكية:

الموصلية الحرارية العالية (300 واط/م): يقلل تبديد الحرارة السريع من التدرجات الحرارية ، ويضمن توحيد درجة حرارة الويفر ، ويتجنب انحراف سمك الفيلم.

القوة الميكانيكية العالية: تصل قوة الانحناء إلى 415 ميجا باسكال (درجة حرارة الغرفة) ، ولا تزال تحافظ على قوة أكثر من 90 ٪ في درجة حرارة عالية ، وتجنب تكسير الناقل أو التخلص منها.

الانتهاء من السطح: SSIC (كربيد السيليكون الملبد بالضغط) له خشونة سطحية منخفضة (<0.1μm) ، مما يقلل من تلوث الجسيمات وتحسين محصول الويفر.

3. تحسين مواد المطابقة:

اختلاف التوسع الحراري المنخفض بين ركيزة الجرافيت وطلاء SIC: عن طريق ضبط عملية الطلاء (مثل ترسب التدرج) ، يتم تقليل إجهاد الواجهة ويتم منع الطلاء من التقشير.

نقاء عالية وعيوب منخفضة: تضمن عملية الأمراض القلبية الوعائية نقاء الطلاء> 99.9999 ٪ ، وتجنب تلوث الأيونات المعدنية للعمليات الحساسة (مثل تصنيع أجهزة الطاقة SIC).

ثمج الخواص الفيزيائية لطلاء CVD SIC

CVD SIC Film Film Structure

Vet Sexemicon متاجر