تقنية موكفد

تتمتع VeTek Semiconductor بميزة وخبرة في قطع غيار تقنية MOCVD.

MOCVD، الاسم الكامل لترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي)، يمكن أيضًا أن يطلق عليه اسم مرحلة البخار المعدني العضوي. المركبات المعدنية العضوية هي فئة من المركبات التي لها روابط فلزية كربونية. تحتوي هذه المركبات على رابطة كيميائية واحدة على الأقل بين المعدن وذرة الكربون. غالبًا ما تستخدم المركبات المعدنية العضوية كسلائف ويمكن أن تشكل أغشية رقيقة أو هياكل نانوية على الركيزة من خلال تقنيات الترسيب المختلفة.

يعد ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (تقنية MOCVD) من تقنيات النمو الفوقي الشائعة، وتستخدم تقنية MOCVD على نطاق واسع في تصنيع أجهزة ليزر أشباه الموصلات ومصابيح LED. خاصة عند تصنيع مصابيح LED، تعد MOCVD تقنية رئيسية لإنتاج نيتريد الغاليوم (GaN) والمواد ذات الصلة.

هناك نوعان رئيسيان من النضوج: تنضيد الطور السائل (LPE) ونضاب الطور البخاري (VPE). يمكن تقسيم تنضيد الطور الغازي أيضًا إلى ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD) ونضوج الشعاع الجزيئي (MBE).

يتم تمثيل الشركات المصنعة للمعدات الأجنبية بشكل رئيسي بواسطة Aixtron وVeeco. يعد نظام MOCVD أحد المعدات الرئيسية لتصنيع أجهزة الليزر ومصابيح LED والمكونات الكهروضوئية والطاقة وأجهزة الترددات اللاسلكية والخلايا الشمسية.

الملامح الرئيسية لقطع غيار تكنولوجيا MOCVD المصنعة من قبل شركتنا:

1) كثافة عالية وتغليف كامل: تكون قاعدة الجرافيت ككل في درجة حرارة عالية وبيئة عمل قابلة للتآكل، ويجب أن يكون السطح ملفوفًا بالكامل، ويجب أن يكون للطلاء تكثيف جيد للعب دور وقائي جيد.

2) التسطيح الجيد للسطح: نظرًا لأن قاعدة الجرافيت المستخدمة لنمو بلورة واحدة تتطلب تسطيحًا سطحيًا عاليًا جدًا، فيجب الحفاظ على التسطيح الأصلي للقاعدة بعد تحضير الطلاء، أي يجب أن تكون طبقة الطلاء موحدة.

3) قوة ربط جيدة: تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين قاعدة الجرافيت ومواد الطلاء، والتي يمكن أن تحسن بشكل فعال قوة الترابط بين الاثنين، والطلاء ليس من السهل أن يتشقق بعد التعرض للحرارة العالية والمنخفضة. دورة.

4) الموصلية الحرارية العالية: يتطلب نمو الرقائق عالي الجودة أن توفر قاعدة الجرافيت حرارة سريعة وموحدة، لذلك يجب أن تتمتع مادة الطلاء بموصلية حرارية عالية.

5) نقطة انصهار عالية، مقاومة الأكسدة في درجات الحرارة العالية، مقاومة التآكل: يجب أن يكون الطلاء قادرًا على العمل بثبات في درجات الحرارة العالية وبيئة العمل المسببة للتآكل.

وضع الركيزة 4 بوصة
تنضيد باللون الأزرق والأخضر لزراعة LED
يقع في غرفة التفاعل
الاتصال المباشر مع الرقاقة وضع الركيزة 4 بوصة
تستخدم لزراعة الفيلم الفوقي LED للأشعة فوق البنفسجية
يقع في غرفة التفاعل
الاتصال المباشر مع الرقاقة آلة Veeco K868/Veeco K700
تنضيد LED أبيض/تنضيد LED أزرق-أخضر تستخدم في معدات VEECO
لـ MOCVD Epitaxy
متقبل طلاء SiC معدات اكسترون TS
نبوءة الأشعة فوق البنفسجية العميقة
الركيزة 2 بوصة معدات فيكو
الأحمر والأصفر LED Epitaxy
ركيزة ويفر مقاس 4 بوصة TaC المغلفة Suceptor
(جهاز استقبال SiC Epi/ UV LED) حساس مطلي بـ SiC
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD Susceptor)