قارب رقاقة الكوارتز عالية النقاء

يتكون قارب رقاقة الكوارتز المرتفع من أشباه الموصلات النقش من الكوارتز الفائقة النقاء ، والذي يحتوي على خصائص محتوى الهيدروكسيل المنخفض ، والنقاء العالي ، ومقاومة درجات الحرارة العالية القوية. تستخدم هذه المادة أيضًا على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات كمواد لأفران الانتشار ومكونات فرن CVD. كحاوية لحمل رقائق السيليكون ، تم استخدام رقاقة قارب الكوارتز عالية النقاء في أشباه الموصلات ، الحقول الكهروضوئية ، الكيميائية وغيرها.

سيناريوهات التطبيق

الأول هو مجال أشباه الموصلات. تعتبر عملية المعالجة الحرارية للرقائق مهمة جدًا، بما في ذلك الأكسدة الحرارية، والانتشار، والتليين، وما إلى ذلك. ومن خلال عملية المعالجة الحرارية، نعطي الرقائق خصائص جديدة.

يتم استخدام الأنابيب الأساسية لفرن الدفعة في عمليات معالجة رقائق أشباه الموصلات مثل الأكسدة الحرارية، ونشر درجة الحرارة العالية، والتليين، وترسيب الأغشية الرقيقة. يتم استخدام فرن التسخين الدفعي بشكل أساسي لتسخين جسم الفرن عن طريق الملفات لإكمال المعالجة الحرارية. وفقًا لهياكل العمل المختلفة، يمكن تقسيم الأنابيب الأساسية لفرن الدفعة إلى أفران أفقية وأفران رأسية:

(1) يتم وضع قارب رقاقة الكوارتز العالي في الفرن الأفقي أفقياً ، لذلك يطلق عليه الفرن الأفقي.

في عملية المعالجة الحرارية ، يتم تحميل الرقاقة على قارب رقاقة الكوارتز المرتفع ، المرسلة ببطء إلى أنبوب فرن الكوارتز ، ويوضع الرقاقة في منطقة درجة حرارة ثابتة للمعالجة. بعد الانتظار لإكمال العملية ، يتم سحب قارب الكوارتز المستخدم ببطء من فرن الكوارتز لمنع التضرار بسبب التغيرات في درجة الحرارة المفاجئة. تستخدم الأفران الأفقية على نطاق واسع في عملية انتشار الدوائر المتكاملة مع أقطار رقاقة أقل من 200 مم. 

تعتبر مزايا الأفران الأفقية عملية بسيطة ، وتوحيد جيد بين الرقاقات ، والقدرة على معالجة رقائق متعددة في نفس الوقت. العيوب هي سرعة التدفئة البطيئة ، وحجم المعدات الكبيرة ، وصعوبة في الأتمتة ، وسهولة الدخول إلى الهواء الخارجي عند تحميل وتفريغ الرقاقات.

(2) يتم وضع قارب بسكويت بسكويت الويفر عالي النقاء للفرن العمودي عموديًا، لذلك يطلق عليه الفرن العمودي.

يتم تحميل الرقاقة على برج الكوارتز وترتفع ببطء إلى أنبوب فرن الكوارتز للتسخين. أثناء عملية التسخين، سوف يدور قارب بسكويت الويفر عالي النقاء ببطء لضمان تسخين الرقاقة بالتساوي. بعد المعالجة، سوف ينزل برج الكوارتز ببطء لتجنب تغيرات درجة الحرارة التي قد تسبب تلف الرقاقة. تستخدم الأفران العمودية بشكل رئيسي في عملية الدوائر المتكاملة للرقائق ذات قطر 200 مم و300 مم. تكمن التكنولوجيا الأساسية للأفران العمودية في التحكم الميداني بدرجة الحرارة العالية الدقة، والتحكم في الجسيمات، والتحكم في الأكسجين الدقيق في البيئة الدقيقة، والتشغيل الآلي. مزايا الأفران العمودية هي طبقة الأكسيد الطبيعي الرقيقة، والتوحيد الجيد، والأتمتة الأسهل، وبصمة المعدات الصغيرة، ومعالجة الدفعات. العيب هو أن سرعة التسخين بطيئة.

في الحقل الكهروضوئي ، تتطلب عملية إنتاج الخلايا الكهروضوئية قوارب الكوارتز لحمل ونقل رقائق السيليكون في عملية نشر درجة الحرارة العالية. يعد المعالجة ذات درجة الحرارة العالية في النيتروجين عالي النقاء أو الأكسجين أو الغاز الغاز الخامل ، مثل انتشار الفوسفور أو نشر البورون ، خطوة مهمة في عملية تصنيع الخلايا الشمسية. والغرض من ذلك هو تشكيل تقاطع PN على رقاقة السيليكون.

يحتوي قارب الكوارتز على فتحات مصممة بدقة بالداخل لضمان احتفاظ رقاقة السيليكون بالموضع الدقيق أثناء عملية الانتشار ذات درجة الحرارة العالية ويتم تسخينها بالتساوي. نظرًا لأن مادة الكوارتز تتمتع بمقاومة جيدة لدرجات الحرارة العالية واستقرار كيميائي، فإنها لن تلوث رقاقة السيليكون، مما يفضي إلى الحفاظ على نظافة عالية لبيئة الإنتاج.

باعتبارك مبتكرًا ورائدًا في سوق قوارب الكوارتز المستعملة في الصين، سواء كنت تعمل في صناعة أشباه الموصلات أو الصناعة الكهروضوئية، طالما أنك بحاجة إلى قارب رقاقة كوارتز عالي النقاء، يرجى أن تطلب منا عرض أسعار وسنكون قادرين على تصميمه بالنسبة لك وفقا لاحتياجاتك.

انها أشباه الموصلات متاجر المنتجات: