حلقة حفر كوارتز عالية النقاء

1.الميزات والمزايا الرئيسية

• كوارتز منصهر منزوع الهيدروكسيل بدرجة أشباه الموصلات مع SiO₂ ≥ 99.999% وشوائب معدنية يتم التحكم فيها بإحكام

• تشغيل مستمر ومستقر حتى 1100 درجة مئوية، مع قدرة قصيرة المدى بالقرب من 1200 درجة مئوية

• مقاومة قوية لكيمياء الحفر القائمة على الفلور والكلور والتعرض للبلازما عالية الطاقة

• تمدد حراري منخفض وأداء جيد للصدمات الحرارية في ظل دورات درجة حرارة الغرفة المتكررة

• إطلاق غازات ذات فراغ منخفض لحماية ضغط قاعدة الغرفة ومعالجة تكوين الغاز

• التحكم في الأبعاد على مستوى الميكرون مع أسطح تلامس مصقولة لملاءمة الغرفة بشكل متسق وتحديد حدود البلازما

• تصميمات قابلة للتكوين: حلقات مسطحة، حلقات حفر متدرجة، حلقات تحديد الموقع/الاحتفاظ، وملفات تعريف مخصصة بالكامل لمنصات أدوات الحفر الرئيسية

2.التطبيقات النموذجية

تُستخدم حلقات حفر الكوارتز عالية النقاء في غرف عملية حفر البلازما الجافة من أجل:

• خطوات حفر البلازما لجهاز المنطق والذاكرة

• عمليات حفر جهاز الطاقة SiC و GaN

• هيكل ذو نسبة عرض إلى ارتفاع عالية

• معالجة البلازما الركيزة البصرية والمركبة لأشباه الموصلات

• حفر البلازما للتغليف المتقدم وخطوات التنظيف ذات الصلة

• أدوات الحفر والإنتاج في المختبرات RIE / ICP

3.المعلمات التقنية الرئيسية

• المواد: كوارتز منصهر منزوع الهيدروكسيل بدرجة أشباه الموصلات، SiO₂ ≥ 99.999%

• توافق الرقاقة: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 بوصة من السيليكون، SiC، GaN، والياقوت

• درجة حرارة التشغيل: -20 درجة مئوية إلى 1100 درجة مئوية متواصلة؛ ذروة قصيرة المدى حوالي 1200 درجة مئوية

• الوظائف الأساسية: حبس حافة البلازما، وتوجيه تدفق الغاز، وحماية الحافة، وعزل الغرفة

• جودة التصنيع: التفاوتات على مستوى الميكرون، والأسطح المصقولة، والحواف المتحكم فيها، والتشطيب النظيف

• خيارات الهيكل: حلقة مسطحة، وحلقة حفر متدرجة، وحلقة تحديد الموقع/الاحتفاظ، وأشكال هندسية مخصصة

• التخصيص: القطر الخارجي/الداخلي، والسمك، وارتفاع الخطوة، وميزات تحديد الموقع، والحواف، وتفاصيل الواجهة لكل رسم

4.لماذا تختار حلقات حفر الكوارتز عالية النقاء من VeTek؟

توفر شركة VeTek Semiconductor أجهزة كوارتز ضرورية للعمليات للحفر والأدوات الحرارية. بالنسبة للحلقات المحفورة، يتم التركيز على:

• نقاء المواد ونظافة السطح مناسبة لبيئات الحفر الجاف المتقدمة

• دقة الأبعاد التي تدعم التحكم المستقر في حدود البلازما وملاءمة الغرفة القابلة للتكرار

• مرونة التصميم لاستبدال نمط OEM وواجهات الحجرة المخصصة بالكامل

• مجموعة كاملة من مكونات الكوارتز تتضمن أيضًا حاملات الرقاقات وأنابيب الفرن والقوارب وأجزاء العمليات ذات الصلة

من خلال الجمع بين النقاء العالي ومتانة البلازما والتحكم الهندسي الدقيق، تساعد حلقات حفر الكوارتز عالية النقاء من VeTek على تحسين توحيد حفر الرقاقة وتقليل العيوب المرتبطة بالحافة ودعم دورات إنتاج أطول وأكثر استقرارًا في أدوات حفر البلازما الجافة.