حامل الرقاقة لـ VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

ميزات المنتج:

1. قاعدة جرافيت عالية النقاء مع طبقة CVD SiC كثيفة
2. تجانس حراري جيد من أجل نضوج LED مستقر
3. يتحمل NH₃ وHCl والغازات المسببة للتآكل الأخرى المستخدمة في العملية
4. سفك منخفض للجسيمات وعمر خدمة طويل
5. يمكن تخصيص تصميمات الجيب لتناسب أحجام الرقاقات المختلفة ومنصات المفاعلات
6. يعمل بشكل جيد لتشغيل MOCVD على المدى الطويل في درجات الحرارة العالية

التطبيقات:
تُستخدم حاملات الرقاقة هذه على نطاق واسع في مصابيح LED وأشباه الموصلات المركبة، بما في ذلك:

• GaN الصمام الفوقي
• تنضيد LED باللون الأزرق والأخضر
• نمو عميق للأشعة فوق البنفسجية LED
• نبتة GaN المستندة إلى Si
• تصنيع أشباه الموصلات المركبة العامة

تناسب حلول الناقل المخصصة العديد من منصات LED MOCVD، مثل:

• فييكو K465i
• فييكو K700
• فييكو K868
• اكسترون جي 4/ جي 5
• A7/يونيماكس

المزايا التقنية:

1. طلاء CVD SiCالتكنولوجيا التي تمنحك كثافة ونقاء جيدين
2. يساعد تباين سُمك الطلاء في حدود ±10 ميكرومتر - على بقاء الأداء الحراري ثابتًا
3. تصنيع باستخدام الحاسب الآلي بدقة تصل إلى 3 ميكرومتر من أجل ملاءمة جيدة للرقاقة واستقرار الدوران
4. يلتصق الطلاء جيدًا ويقاوم التشقق بعد دورات MOCVD المتكررة ذات درجات الحرارة العالية
5. يتعامل مع NH₃ وHCl والبيئات الفوقية القاسية الأخرى دون مشاكل
6. توليد جزيئات منخفضة وسطح نظيف لدعم الإنتاجية العاليةالصمام الفوقي
7. يمكن طلاء أحجام كبيرة أو مخصصة لمنصات المفاعلات المختلفة وتخطيطات الرقاقات
8. خبرة طويلة معأجزاء مخصصة من الجرافيت والأجزاء المغلفة بـ SiCلمصابيح LED وأشباه الموصلات المركبة

التعليمات:
1. ماذا يفعل حامل الرقاقةموكفدنضوج LED؟

ج: إنه يحمل ويدور الرقائق داخل مفاعل MOCVD، ويساعد في الحفاظ على درجة الحرارة ثابتة أثناء النمو الفوقي.

2. لماذا نستخدم حاملات رقائق الجرافيت المطلية بـ SiC لـ MOCVD؟

ج: الطلاء CVD SiCيعطي مقاومة أفضل للتآكل، والاستقرار الحراري، والمتانة. كما أنه يساعد على تقليل تلوث الجسيمات في حالة ارتفاع درجة الحرارة.

3. هل تقوم شركة Vetek Semiconductor بتصنيع ناقلات الرقاقات المخصصة؟
ج: نعم. يمكننا تصميم ناقلات مخصصة بناءً على منصة المفاعل الخاص بك، وحجم الرقاقة، وتخطيط الجيب، واحتياجات العمليات الأخرى.