كذا طلاء ألد سيسفيتوور

انها أشباه الموصلاتكذا طلاء ألد سيسفيتووريلعب دورًا حيويًا في ترسب الطبقة الذرية (Ald) عملية. تضمن التحكم الدقيق في درجة الحرارة ، وتوزيع غاز موحد ، ومقاومة كيميائية عالية ، والتوصيل الحراري الممتاز التوحيد والجودة العالية لعملية ترسب الفيلم. إذا كنت تريد معرفة المزيد ، فيمكنك استشارةنا على الفور وسنرد عليك في الوقت المناسب!

التحكم في درجة الحرارة الدقيقة:

عادةً ما يكون لدى Coating Coating ALD Sumpceptor نظام التحكم في درجة الحرارة عالي الدقة. إنه قادر على الحفاظ على بيئة درجة حرارة موحدة طوال عملية الترسيب ، وهو أمر بالغ الأهمية لضمان توحيد وجودة الفيلم.

توزيع غاز موحد:

يضمن التصميم الأمثل لطلاء ALD SIC التوزيع الموحد للغاز أثناء عملية ترسب ALD. يتضمن هيكله عادةً أجزاء متعددة أو متحركة لتعزيز تغطية موحدة للغازات التفاعلية عبر سطح الرقاقة بأكمله.

مقاومة كيميائية عالية:

نظرًا لأن عملية ALD تتضمن مجموعة متنوعة من الغازات الكيميائية ، فإن SIC Coating ALD مصنوع عادةً من مواد مقاومة للتآكل (مثل البلاتين أو السيراميك أو الكوارتز العالي النقاء) لمقاومة تآكل الغازات الكيميائية وتأثير بيئات درجات الحرارة العالية.

الموصلية الحرارية ممتازة:

من أجل إجراء الحرارة بشكل فعال والحفاظ على درجة حرارة ترسب مستقرة ، عادة ما يستخدم مشكلو ALD طلاء SIC مواد توصيل حرارية عالية. هذا يساعد على تجنب ارتفاع درجة الحرارة المحلية والترسب غير المتكافئ.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC:

متاجر الإنتاج:

لمحة عامة عن سلسلة صناعة شريحة أشباه الموصلات：