حلقة من كربيد التنتالوم المسامي (TaC) مطلية بالجرافيت

ميزات المنتج

• المعدات الأساسية:مخصص لأفران النمو أحادية البلورة SiC التي تعمل بتقنية PVT.
• التطبيق الأساسي:مناسب لأنظمة المجال الحراري في نمو بلورات SiC من الجيل الثالث.
• استقرار درجة الحرارة العالية:ويحتفظ طلاء TaC بالسلامة الهيكلية في ظل درجات الحرارة العالية للغاية، مما يدعم التشغيل الممتد في البيئات الحرارية الصعبة.
• الحماية من التآكل:تعمل طبقة CVD TaC الكثيفة على حماية ركيزة الجرافيت من بخار السيليكون والغازات الحاملة للكربون والأنواع المسببة للتآكل الأخرى التي تتم مواجهتها أثناء نمو SiC.
• أداء المجال الحراري:تساعد قاعدة الجرافيت المسامية في توزيع الحرارة ونقل البخار، مما يساعد في الحفاظ على ظروف نمو مستقرة.
• تلوث منخفض:المواد الأولية عالية النقاء والطلاء الكثيف تحد من إطلاق الشوائب وتساقط الجسيمات، مما يفيد جودة الكريستال.
• عمر ممتد:تعمل طبقة TaC على تحسين مقاومة الأكسدة وصلابة السطح والمتانة الشاملة في درجات الحرارة المرتفعة.
• التصاق الطلاء:تنتج عملية CVD رابطة قوية بين فيلم TaC والركيزة الجرافيتية.
• خيارات مخصصة:يمكن تعديل الأبعاد والتفاصيل الهيكلية ومواصفات الطلاء لتتناسب مع متطلبات أفران نمو SiC المختلفة.

المواصفات الفنية

التطبيقات

يتم استخدام حلقة الجرافيت المطلية بـ VETEK المسامية بشكل أساسي في:

• نمو بلورة واحدة من SiC عبر PVT
• تصنيع أشباه الموصلات من الجيل الثالث
• إنتاج الركيزة SiC
• أنظمة المجال الحراري في أفران النمو البلوري
• معالجة أشباه الموصلات بدرجة حرارة عالية
• مكونات المنطقة الساخنة الجرافيت المتقدمة

التعليمات

1. ما هي حلقة الجرافيت المسامية المطلية بـ TaC؟

وهو مكون مجال حراري لأفران نمو بلورات SiC. فهو يجمع بين هيكل الجرافيت المسامي وطلاء CVD TaC لتوفير الإدارة الحرارية والحماية ضد التآكل الناتج عن درجات الحرارة العالية.

2. لماذا نستخدم طلاء TaC لنمو بلورات SiC؟

يوفر TaC ثباتًا في درجات الحرارة العالية ومقاومة للمواد الكيميائية. إنه يحمي الجرافيت من هجوم بخار السيليكون ويساعد في الحفاظ على بيئة نمو نظيفة ومستقرة.

3. ما الذي يقدمه هيكل الجرافيت المسامي؟

يدعم التصميم المسامي التوزيع الحراري ونقل الغاز داخل الفرن، مما يساهم في استقرار ظروف نمو بلورات SiC.

4. هل يمكن لـ VETEK إنتاج حلقات جرافيت مطلية بـ TaC مخصصة؟

نعم. تقدم VETEK التخصيص بناءً على رسومات العملاء، وتصميمات الأفران، واحتياجات العملية، بما في ذلك الأبعاد، وتكوين الركيزة، ومعلمات الطلاء.