فرن نمو بلورات SiC لتسخين المقاومة كبير الحجم

المعلمات التقنية

المزايا الأساسية

 ● التوافق بالحجم الكامل

يتيح نموًا مستقرًا لبلورات كربيد السيليكون مقاس 6 بوصات و8 بوصات و12 بوصة، وهي متوافقة تمامًا مع أنظمة المواد الموصلة وشبه العازلة والنوع N. وهو يغطي احتياجات الإنتاج للمنتجات ذات المواصفات المختلفة ويتكيف مع سيناريوهات التطبيق المتنوعة.

● استقرار قوي للعملية

تتميز البلورات مقاس 8 بوصات بتناسق متعدد الأنواع 4H ممتاز، وشكل سطح ثابت، وقابلية تكرار عالية؛ أكملت تقنية نمو بلورات كربيد السيليكون مقاس 12 بوصة التحقق من جدوى الإنتاج الضخم.

● انخفاض معدل عيب الكريستال

من خلال التحكم الدقيق في درجة الحرارة والضغط والطاقة، يتم تقليل العيوب البلورية بشكل فعال من خلال المؤشرات الرئيسية التي تلبي المعايير - EPD=1435 ea/cm²، BPD=381 ea/cm²، TSD=0 ea/cm²، وTED=1054 ea/cm². جميع مؤشرات العيوب تلبي متطلبات جودة الكريستال عالية الجودة، مما يحسن إنتاج السبائك بشكل ملحوظ.

● تكاليف التشغيل التي يمكن السيطرة عليها

لديها أقل استهلاك للطاقة بين المنتجات المماثلة. تتمتع المكونات الأساسية (مثل دروع العزل الحراري) بدورة استبدال طويلة تتراوح من 6 إلى 12 شهرًا، مما يقلل من تكاليف التشغيل الشاملة.

● سهولة التوصيل والتشغيل

وصفات مخصصة وحزم عمليات تعتمد على خصائص المعدات، ويتم التحقق منها من خلال إنتاج طويل الأجل ومتعدد الدفعات، مما يسمح بالإنتاج الفوري بعد التثبيت.

● السلامة والموثوقية

يعتمد تصميم شرارة خاص مضاد للقوس للقضاء على مخاطر السلامة المحتملة؛ تعمل وظائف المراقبة والإنذار المبكر في الوقت الفعلي على تجنب المخاطر التشغيلية بشكل استباقي.

● أداء فراغ ممتاز

تتجاوز مؤشرات معدل ارتفاع الفراغ والضغط النهائية المستويات الرائدة عالميًا، مما يضمن بيئة نظيفة لنمو البلورات.

● التشغيل والصيانة الذكية

يتميز بواجهة HMI بديهية مقترنة بتسجيل بيانات شامل، مما يدعم وظائف المراقبة عن بعد الاختيارية لإدارة الإنتاج بكفاءة وسهولة.

العرض المرئي للأداء الأساسي

منحنى دقة التحكم في درجة الحرارة

دقة التحكم في درجة الحرارة لفرن النمو البلوري ≥ ±0.3 درجة مئوية؛ نظرة عامة على منحنى درجة الحرارة

الرسم البياني لدقة التحكم في الضغط

دقة التحكم في الضغط لفرن النمو البلوري: 1.0 تور، دقة التحكم في الضغط: 0.001 تور

دقة استقرار الطاقة

الاستقرار والاتساق بين الأفران/الدفعات: دقة استقرار الطاقة

في ظل حالة نمو البلورة، تبلغ دقة التحكم في الطاقة أثناء نمو البلورة المستقر ±0.15%.

متجر منتجات Veteksemicon