خدمة تنظيف أجزاء الجرافيت المطلية بطبقة CVD SiC

1. التحديات التي قد تواجهها

• طبقة AlN التي يصعب إزالتها:لا يزال التنظيف الحراري عند درجة حرارة 1300 درجة مئوية غير قادر على حفر طبقة AlN المتبقية بشكل فعال.

• تأثير الذاكرة المتكررة:يتسبب تأثير الذاكرة السطحية في تدفق غاز غير مستقر في المفاعل، مما يؤثر على اتساق العملية.

• دورة التنظيف إمباكالإنتاجية:عادةً ما تحتاج كل 16 دورة عملية (4-5 مستقبلات) إلى تنظيف خارجي.

• القلق بشأن إتلاف الطلاء المكلف:إن الافتقار إلى خبرة التنظيف الكيميائي داخل الشركة يجعل المشغلين مترددين في محاولة التنظيف العدواني.

2. الحل الذي نقدمه – مصمم لعمليات GaN / AlN / AlGaN

• التنظيف الاحترافي:عملية مخصصة تم تطويرها خصيصًا لأجزاء الجرافيت المطلية بـ CVD SiC. لا توجد صيغة كيميائية مطلوبة من العميل.

• سلامة الطلاء:يحمي بدقة طلاء CVD SiC بقطر 100 ميكرومتر. فقدان مطلق للسمك صفر بعد التنظيف.

• نتائج يمكن التحقق منها:شهادة تحليل كاملة (COA) تغطي خمسة أبعاد أساسية. البيانات جاهزة للأرشيف ومراجعة الجودة.

3. خمسة معايير قبول أساسية

تتماشى بشكل صارم مع المتطلبات الهامة لمستخدمي أشباه الموصلات:

1. فقدان الطلاء صفر– لا يتم تقليل سمك طلاء SiC أبدًا بعد التنظيف (التحقق من مقارنة السُمك قبل/بعد).

2. لا تشوه السطح- يتم فحص التسطيح والدقة الهندسية بدقة لضمان عدم حدوث تشوه جسدي.

3. القضاء على تأثير الذاكرة- يؤكد تحليل XPS لبقايا Al/Ga الإزالة الشاملة لمصادر تأثير الذاكرة.

4. صفر بقايا معدنية- يتحقق اختبار ICP-MS للحديد والنحاس والنيكل والمعادن الأخرى من عدم وجود أي شوائب معدنية متبقية.

5. لا توجد جزيئات زائدة- اختبار الجسيمات QIII بالإضافة إلى التحقق من النظافة يمنع عدم استقرار تدفق الغاز الناتج عن الجسيمات المتبقية.

4. فحص التسليم وتقرير شهادة توثيق البرامج

يتم تسليم كل دفعة مع بيانات التحقق الكاملة عبر خمسة أبعاد أساسية:

5. خلفية المنتجات والعمليات المعمول بها

معلمات المنتج

عملية الخدمة

1. الاستفسار- إرسال صور القطعة / الموديل / الكمية للتقييم.

2. الاقتباس– التقييم الفني واقتراح التنظيف التفصيلي مع عرض الأسعار.

3. الشحن– شحن الأجزاء إلينا أو ترتيب خدمة الاستلام.

4. التنظيف– تنظيف احترافي + فحص كامل متعدد الأبعاد.

5. التقرير– تم إصدار تقرير شهادة توثيق البرامج وإعادة الأجزاء التي تم تنظيفها.

6. المتابعة– تتبع التأثير والدعم الفني المستمر.

6. لماذا تختار خدمة تنظيف VETEK؟

تجمع VETEK بين الخبرة العميقة في تكنولوجيا طلاء CVD SiC وإمكانيات التنظيف المتخصصة لمستشعرات الجرافيت عالية القيمة. نحن نتفهم الأهمية الحاسمة لسلامة الطلاء والتحكم في الجسيمات ونقاء العملية في حالة GaN/AlN. تم تصميم خدمتنا للعملاء الذين يحتاجون إلى الأمان المطلق لطلاءات CVD SiC باهظة الثمن مع حل مشكلات تأثير الذاكرة وعدم استقرار تدفق الغاز بشكل كامل.

· التنظيف التجريبي متاح للتحقق من الدفعة الصغيرة

· تقرير COA الكامل المقدم مع كل عملية تسليم

· انعدام خطر تلف الطلاء أو حدوث تلوث جديد

· محترف · آمن · يمكن التحقق منه