شعر عالية نقاء جامدة

النمو الفوقي لـ SiC عبارة عن تقنية لزراعة أغشية رقيقة من كربيد السيليكون عالية الجودة على سطح الركيزة. تعتبر هذه العملية ضرورية لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات من كربيد السيليكون عالية الأداء، مثل أجهزة الطاقة من كربيد السيليكون وأجهزة الترددات اللاسلكية من كربيد السيليكون. في هذه العملية، يجب التحكم بشكل صارم في بيئة النمو، بما في ذلك درجة الحرارة وتدفق الغاز والضغط والمعلمات الأخرى، لضمان نمو الطبقات الفوقية من كربيد السيليكون عالية الجودة وعالية النقاء مع خصائص كهربائية جيدة. أجزاء الجرافيت SiC Coatig Halfmoon هي المكون الأساسي للنمو الفوقي SIC، واللباد الصلب عالي النقاء يلعب بشكل أساسي دور الحفاظ على الحرارة لأجزاء الجرافيت SiC Coatig Halfmoon.

يتمتع Love High Purity Rigid بالتوصيل الحراري الجيد ، والذي يمكنه توزيع حرارة مصدر التدفئة حول أجزاء Graphite Halfmoon SiC Coatig بالتساوي وله تأثير جيد للحفاظ على الحرارة. أثناء النمو الفوقي الكيب ، يمكن أن يمتص الحرارة وإطلاقه ببطء لتجنب ارتفاع درجة الحرارة المحلية أو التبرخ المفرط ، بحيث يتم التحكم في اختلاف درجة الحرارة على سطح الركيزة كربيد السيليكون داخل نطاق صغير جدًا ، ويمكن أن يصل توحيد درجة الحرارة عادة إلى ± 1 - 2 ℃ ، وهو أمر مهم للغاية لتنمية طبقة شربية من السيليكون مع سماكة موحدة وخصائص كهربائية متسقة.

تُستخدم بعض الغازات المسببة للتآكل، مثل السيلان (SiH4) والبروبان (C3H8)، كغازات مصدر للتفاعل في النمو الفوقي لـ SiC. يتمتع اللباد الصلب عالي النقاء بقدرة جيدة على تحمل هذه الغازات الكيميائية، ويمكنه الحفاظ على سلامته الهيكلية طوال دورة النمو الفوقي (والتي قد تستمر لساعات أو حتى عشرات الساعات). ونقاء اللباد الصلب عالي النقاء أعلى من 99.99%، ولن يطلق مواد قد تلوث الطبقة الفوقية في بيئة التفاعل، وبالتالي ضمان النقاء العالي للطبقة الفوقية من كربيد السيليكون.

الكثافة المناسبة يمكن أن تضمن القوة الميكانيكية والتوصيل الحراري للباد الصلب عالي النقاء. مع ضمان التوصيل الحراري، فإنه يمكن تقليل تدخل العوامل الخارجية على النمو الفوقي SiC.

بالمقارنة مع المواد الخزفية التقليدية والمواد المعدنية، فإن لباد الجرافيت الصلب عالي النقاء يتمتع بموصلية حرارية أفضل واستقرار كيميائي، وهو مادة مكونة مساعدة ممتازة للنمو الفوقي لـ SiC.

بصفته موردًا رائدًا ومصنعًا في الصين العالي من طهارة ، يوفر أشباه الموصلات الفيتيك منتجات مخصصة للغاية ، سواء كانت مواد أو حجم المنتج ، يمكن أن تكون مصممة لك. وحلول المنتجات لصناعة أشباه الموصلات. نتطلع بصدق إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

Vetek Semiconductor High Purity Rigid Felt Products: