حاملة رقاقة الكوارتز عالية النقاء

1. الميزات والمزايا الرئيسية

• كوارتز منصهر منصهر منزوع الهيدروكسيل عالي النقاء للغاية (SiO₂ ≥ 99.999%) مع شوائب معدنية يتم التحكم فيها عند مستويات ppb - مما يقلل من تلوث الرقاقة

• درجة حرارة التشغيل على المدى الطويل تصل إلى 1100 درجة مئوية؛ مقاومة الذروة على المدى القصير إلى 1200 درجة مئوية

• مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية واستقرار الأبعاد في ظل درجات الحرارة المتكررة

• خمول كيميائي قوي ضد غازات العمليات المؤكسدة والمواد الكيميائية الشائعة في العمليات الرطبة (HF، H₂O₂، الأحماض / القلويات)

• سطح أرضي عالي التسطيح ودقيق مع حواف مستديرة لدعم موحد للرقاقة وتقليل تلف الحواف

• انخفاض إطلاق الغازات الفراغية وامتصاص السطح المنخفض - مناسب لعمليات التفريغ الدقيقة

• هياكل قابلة للتخصيص بالكامل: حاملات صلبة، وتصميمات مثقوبة/تنفيس، وميزات تحديد موقع متدرجة، وفتحات تحديد موضع، ودعامات متعددة النقاط، وتصميمات سميكة مضادة للتشوه للرقائق مقاس 2-12 بوصة

2. التطبيقات النموذجية

يتم استخدام هذه الحاملات في أي مكان تحتاج فيه الرقاقات إلى دعم نظيف ومستقر الأبعاد تحت درجة حرارة مرتفعة أو كيمياء عدوانية:

• تحميل فرن الانتشار والتليين

• دعم عملية نمو الفيلم PECVD و LPCVD

• غرفة فراغ وأدوات عملية ذات درجة حرارة عالية

• حاملات محطات التجفيف والتنظيف الرطب بعد الحفر

• المعالجة الحرارية لجهاز الطاقة SiC و GaN

• التعامل مع الركيزة الإلكترونية الضوئية والأدوات الحرارية المختبرية

3. المعلمات التقنية الرئيسية

• المادة الأساسية: كوارتز منصهر منزوع الهيدروكسيل بدرجة أشباه الموصلات، SiO₂ ≥ 99.999%

• أحجام الرقاقة المتوافقة: 2، 4، 6، 8، و12 بوصة (Si، SiC، GaN، sapphire)

• نطاق درجة الحرارة المستمر الموصى به: -20 درجة مئوية إلى 1100 درجة مئوية؛ ذروة قصيرة المدى تصل إلى حوالي 1200 درجة مئوية

• طريق التصنيع: تشكيل قطعة واحدة، طحن دقيق للسطح، تدوير الحواف، التلدين لتخفيف الضغط، والتنظيف النهائي فائق النظافة

• التكوينات المتاحة: صلبة، ذات تهوية/مثقبة، تحديد موقع متدرج، نمط ثقب، وأشكال هندسية مخصصة بالكامل

• التركيز على الأداء: درجة نقاء عالية، وثبات حراري، ومقاومة للتآكل، وتسطيح السطح، وانخفاض إطلاق الغازات، والاحتفاظ بالأبعاد على المدى الطويل

• نطاق التخصيص: الأبعاد الخارجية، والسمك، وهندسة الدعم، وتصميم الثقب، والميزات الخاصة بناءً على رسومات العملاء

4. لماذا تختار حاملات رقائق الكوارتز عالية النقاء من VeTek؟

باعتبارها شركة مصنعة محترفة لمكونات الكوارتز شبه الموصلة، تقدم VeTek Semiconductor ما يلي:

• حاملات رقائق الكوارتز عالية النقاء مصممة للبيئات الحرارية والفراغية والعمليات الرطبة

• التحكم الصارم في النقاء، وتسطيح السطح، والنظافة المناسبة لإنتاج أشباه الموصلات المتقدمة

• التخصيص الكامل والتصميمات المتوافقة مع OEM لأدوات الفرن والغرفة ومحطة المعالجة

• منتجات الكوارتز شبه الموصلة التكميلية بما في ذلك أنابيب الفرن، وقوارب الويفر، والبوتقات، ومكونات العملية الأخرى

تساعد حاملات رقائق الكوارتز عالية النقاء لدينا في الحفاظ على اتصال حراري موحد، وتقليل تلوث الجسيمات والمعادن، وإطالة عمر الأدوات في ظل درجات الحرارة المرتفعة المستمرة وظروف العملية المسببة للتآكل - مما يدعم إنتاجية أعلى وتكلفة ملكية أقل في تصنيع أشباه الموصلات.