قارب الويفر المطلي بـ CVD عالي النقاء

1. عوامل الأداء الأساسية؟

• النقاء عند مستوى 7N:نحن نحافظ على معيار نقاء 99.99999% (7N). هذا غير قابل للتفاوض لمنع الملوثات المعدنية من الانتقال إلى الرقاقة أثناء خطوات القيادة الطويلة أو الأكسدة.
• ختم الأمراض القلبية الوعائية (50-300 ميكرومتر):نحن لا "نرسم" السطح فحسب. تعمل طبقة CVD SiC التي يبلغ سمكها 50–300 ميكرومتر على إنشاء ختم كامل فوق الركيزة. وهذا يزيل المسامية، مما يعني أن القارب لن يحبس المواد الكيميائية أو يتساقط الجزيئات حتى بعد التعرض المتكرر للغازات التفاعلية أو التنظيف العدواني SPM/DHF.
• الصلابة الحرارية:إن التمدد الحراري المنخفض الطبيعي لكربيد السيليكون يبقي هذه القوارب مستقيمة. لن تتدلى أو تلتوي أثناء التلدين الحراري السريع (RTA)، مما يضمن وصول ذراع الروبوت دائمًا إلى الفتحة الصحيحة دون تشويش.
• العوائد المستدامة:تم تصميم السطح من أجل التصاق منخفض للمنتجات الثانوية. تراكم أقل يعني عددًا أقل من الجزيئات التي تصطدم برقائقك والمزيد من الجري بين دورات تنظيف المقاعد الرطبة.
• هندسة مخصصة:كل القوات المسلحة البوروندية لديها الإعداد الخاص بها. نقوم بتصنيعها وفقًا لرسومات Pitch and Slot الخاصة بك، سواء كنت تقوم بتشغيل فرن أفقي أو خط آلي رأسي 300 مم.

2. توافق العملية

• أَجواء:مقاومة لبيئات TMga وAsH₃ وبيئات O₂ عالية التركيز.
• النطاق الحراري:عملية مستقرة على المدى الطويل تصل إلى 1400 درجة مئوية.
• مواد:تم تصميمها خصيصًا لعمليات الأكسدة والانتشار للرقائق المنطقية والطاقة والتناظرية.