منتجات
CMP تلميع الملاط
  • CMP تلميع الملاطCMP تلميع الملاط

CMP تلميع الملاط

ملاط تلميع CMP (ملاط التلميع الميكانيكي الكيميائي) هو مادة عالية الأداء تستخدم في تصنيع أشباه الموصلات ومعالجة المواد الدقيقة. تتمثل وظيفتها الأساسية في تحقيق تسطيح وتلميع سطح المادة تحت التأثير التآزري للتآكل الكيميائي والطحن الميكانيكي لتلبية متطلبات الثبات وجودة السطح على مستوى النانو. نتطلع إلى مشاورة أخرى.

يستخدم ملاط ​​تلميع CMP من Veteksemon بشكل أساسي كخلط تلميع في ملاط ​​التلميع الميكانيكي الكيميائي CMP لتشويه مواد أشباه الموصلات. لديها المزايا التالية:

يمكن التحكم في درجة القطر والجسيمات في الجزيئات بحرية ؛
الجسيمات مغمورة أحاديًا وتوزيع حجم الجسيمات موحدة ؛
نظام التشتت مستقر.
مقياس الإنتاج الضخم كبير والفرق بين الدُفعات صغيرة ؛
ليس من السهل التكثيف والاستقرار.


مؤشرات الأداء لمنتجات سلسلة نقاء عالية

المعلمة
وحدة
مؤشرات الأداء لمنتجات سلسلة نقاء عالية

الأسقف
الأسقف2
الأسقف3
الأسقف4
الأسقف-5
الأسقف6
الأسقف7
متوسط ​​حجم جسيم السيليكا
نانومتر
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
توزيع حجم الجسيمات النانوية (PDI)
1 <0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
الحل درجة الحموضة
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
محتوى صلب
% 20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
مظهر
-
الأزرق الفاتح
أزرق
أبيض
أبيض
أبيض
أبيض
أبيض
مورفولوجيا الجسيمات x
x : s- pherical ; b- منحنية ; p- على شكل فول السوداني ; t- bulbous ; c- تشبه السلسلة (حالة مجمعة)
أيونات تثبيت
الأمينات العضوية / غير العضوية
تكوين المواد الخام y
و m-tmos ; e-you ; me-tamos+teos ; em-ezos+tmos
محتوى الشوائب المعدنية
≤ 300ppb


تطبيقات منتجات منتجات CMP تلميع :


● دائرة متكاملة المواد ILD CMP

● دائرة متكاملة مواد بولي Si CMP

● أشباه الموصلات أحادية السيليكون مواد رقاقة CMP

● مواد كربيد سيليكون أشباه الموصلات CMP

● دائرة متكاملة للمواد STI CMP

● دائرة متكاملة للمعادن وحاجز المعادن مواد الطبقة CMP


الكلمات الساخنة: CMP تلميع الملاط
إرسال استفسار
معلومات الاتصال
  • عنوان

    طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين

  • بريد إلكتروني

    anny@veteksemi.com

للاستفسارات حول طلاء كربيد السيليكون، طلاء كربيد التنتالوم، الجرافيت الخاص أو قائمة الأسعار، يرجى ترك بريدك الإلكتروني لنا وسنكون على اتصال خلال 24 ساعة.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept