ملاط التلميع CMP

يتم استخدام ملاط ​​التلميع CMP من Veteksemicon بشكل أساسي كمادة كاشطة تلميع في ملاط ​​التلميع الميكانيكي الكيميائي CMP من أجل استواء مواد أشباه الموصلات. لديها المزايا التالية:

مؤشرات الأداء لمنتجات السلسلة فائقة النقاء

مواصفات الأداء لمنتجات السلسلة عالية النقاء

المعلمة	وحدة	مواصفات الأداء لمنتجات السلسلة عالية النقاء
		WGXY-1Z	WGXY-2Z	WGXY-3Z	WGXY-4Z	WGXY-5Z	WGXY-6Z	WGXY-7Z
متوسط ​​حجم جسيمات السيليكا	نانومتر	35±5	45±5	65±5	75±5	85±5	100±5	120±5
توزيع حجم الجسيمات النانوية (PDI)	1	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15
الحل الرقم الهيدروجيني	1	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2	9.5±0.2
المحتوى الصلب	%	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40	30-40
مظهر	--	أزرق فاتح	أزرق	أبيض	أوف وايت	أوف وايت	أوف وايت	أوف وايت
مورفولوجيا الجسيمات X	X: S- كروي، B- منحني، P- على شكل حبة الفول السوداني، T- منتفخ، C- يشبه السلسلة (الحالة المجمعة)
استقرار الأيونات	M: أمين عضوي، K: هيدروكسيد البوتاسيوم، N: هيدروكسيد الصوديوم، أو مكونات أخرى
محتوى الشوائب المعدنية	Z: سلسلة عالية النقاء (سلسلة H أقل من 1 جزء في المليون؛ سلسلة L أقل من 10 جزء في المليون)؛ سلسلة قياسية (سلسلة M ≥300 جزء في المليون)

تطبيقات منتج ملاط ​​التلميع CMP:

● مواد الدائرة المتكاملة ILD CMP

● الدوائر المتكاملة مواد بولي سي CMP

● مواد رقاقة السيليكون البلورية المفردة لأشباه الموصلات CMP

● مواد كربيد السيليكون شبه الموصلة CMP

● الدوائر المتكاملة STI المواد CMP

● الدوائر المعدنية المتكاملة والمواد العازلة المعدنية CMP