حلقة علوية مطلية بطبقة من كربيد السيليكون CVD مقاس 8 بوصة (SiC).

الميزات الرئيسية للحلقة العلوية SiC Epi مقاس 8 بوصة

● درجة نقاء عالية: 99.9995% كحد أدنى. لن يهاجر المعدن إلى طبقة epi. وهذا يحافظ على تركيز حامل الرقاقة حيث يجب أن يكون.

● قمع الجسيمات: هيكل الأمراض القلبية الوعائية كثيف. لا المسام. لن يتم إلقاء الجزيئات أثناء تشغيل الأداة. ترى المصانع عوائد أفضل بهذه الطريقة.

● مقاومة الحرارة: تبقى الحلقة ثابتة عند درجة حرارة 1500 درجة مئوية. انخفاض CTE (التمدد الحراري) يعني عدم وجود تزييف أثناء دورات التسخين/التبريد السريعة.

● الاستقرار الكيميائي: يقاوم CVD SiC الصلب غازي H2 وHCl. كما أنه يقاوم NH3. ليس لديها طلاء لتقشر. لا يتحلل في بيئات الأمراض القلبية الوعائية القاسية.

● عمر المكونات: السطح صلب للغاية. إنه ينجو من التنظيف الكيميائي المتكرر لـ HF/HCl. وهذا يقلل من تكرار الاستبدال. كما أنه يقلل من التكلفة الإجمالية لملكية القوات المسلحة البوروندية.

المواصفات الفنية

يتم التحكم في تجانس سمك الطلاء بين الدفعات عند 10um

التطبيقات

يتم استخدام الحلقة العلوية CVD SiC epi على نطاق واسع في:

● مفاعلات السيليكون الفوقية (Si Epi).

● تنضيد كربيد السيليكون (SiC Epi)

● أنظمة MOCVD

● معدات ترسيب الأمراض القلبية الوعائية

يقترن عادة مع:

● المشتبه بهم

● حاملات الويفر

● حلقات التسخين

● المفاعلات الفوقية

لماذا تختار VETEK SiC Epi Top Ring؟

● القدرة التصنيعية الكاملة: 

بدءًا من تنقية المواد الخام وحتى التصنيع الدقيق وطلاء CVD، تتحكم VETEK في عملية الإنتاج بأكملها لضمان جودة متسقة من فئة أشباه الموصلات.

● دقة عالية: 

نحن نستخدم الآلات على مستوى ميكرون. سمك الأمراض القلبية الوعائية موحد جدًا. وهذا يجعل كل حلقة تعمل بنفس الطريقة تمامًا.

التعليمات

(1) ماذا تفعل الحلقة العلوية SiC epi؟

تدير الحلقة تدفق الحرارة والغاز. إنه يتأكد من أن الفيلم الرقيق ينمو بالتساوي عبر الرقاقة.

(2) لماذا يعتبر CVD SiC أفضل من الجرافيت؟

الجرافيت مسامي. يحتوي الجرافيت على مسام ويطلق الغاز. الصلبة CVD SiC كثيفة ونظيفة. يستمر لفترة أطول بكثير في الأدوات المسببة للتآكل.

(3). هل يمكن تخصيص الحلقة العلوية SiC مقاس 8 بوصة؟

نعم. نحن نبني على رسومات الأداة المحددة الخاصة بك. يمكننا ضبط الهندسة بناءً على عمليتك.

(4). ما هي الصناعات التي تستخدم حلقات الفوقية SiC؟

وهي تستخدم بشكل رئيسي في تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك أجهزة الطاقة، وأجهزة الترددات اللاسلكية، وإنتاج رقائق SiC.