خاتم المغلفة كربيد تانتالوم

تم تصميم خاتم Carbide المغلفة من أشباه الموصلات النقش النقشالجرافيتومغلفة مع كربيد tantalum ، وهو مزيج يستفيد من أفضل خصائص كلتا المادتين لضمان الأداء المتفوق وطول العمر. 

يضمن طلاء TAC على حلقة طلاء كربيد tantalum أنه يظل خاملًا كيميائيًا في الأجواء التفاعلية لأفران نمو البلورات ، والتي غالبًا ما تتضمن غازات مثل الهيدروجين والأرجون والنيتروجين. هذا الامتداد الكيميائي أمر حيوي لمنع أي تلوث للبلورة المتنامية ، مما قد يؤدي إلى عيوب وتقليل أداء منتجات أشباه الموصلات النهائية. بالإضافة إلى ذلك ، يسمح الاستقرار الحراري الذي يوفره طلاء TAC لحلقة طلاء كربيد Tantalum بفعالية في درجات الحرارة المرتفعة المطلوبة لنمو البلورة SIC ، وعادة ما تتجاوز 2000 درجة مئوية.

يمكن تحضير طلاء TAC الكثيف والموحد على سطح الجرافيت عن طريق رش البلازما ، وطريقة CVD وطريقة تلبيس الملاط ، ولكن طريقة رش البلازما لها متطلبات عالية للمعدات وتكوين TA2C. من الصعب تحضير الطلاء المركب عن طريق طريقة تلبيد الملاط ، ومقاومة الصدمة الحرارية للطلاء سيئة. يحتوي الطلاء الذي أعدته طريقة CVD على تركيبة يمكن التحكم فيها وأعلى كثافة ، وهي طريقة طلاء كربيد Tantalum شائعة في الوقت الحاضر.

الخواص الميكانيكية لـ TAC تقلل بشكل كبير من البلى على حلقة طلاء كربيد tantalum. هذا أمر بالغ الأهمية بسبب الطبيعة المتكررة لعملية نمو البلورة ، والتي تعرض حلقة التوجيه للدورات الحرارية المتكررة والضغوط الميكانيكية. تضمن صلابة TAC ومقاومة التآكل أن الحلقة المطلية TAC تحافظ على سلامتها الهيكلية والأبعاد الدقيقة على مدار الفترات الطويلة ، مما يقلل من الحاجة إلى بدائل متكررة وتقليل وقت التوقف في عملية التصنيع. 

تبلغ الكثافة الكبيرة لطلاء كربيد tantalum 14.3 جم/سم 3 ، والانبعاث 0.3 ، والصلابة هي 2000HK ، ونقطة الانصهار هي 3950s ، وتم اختيار الخصائص الفيزيائية الجيدة كمواد شائعة للجيل الثالث من أشباه الموصلات.

بالإضافة إلى ذلك ، فإن مزيج الجرافيت و TAC في حلقة طلاء كربيد tantalum يعمل على تحسين الإدارة الحرارية داخل فرن نمو البلورة. الموصلية الحرارية العالية للجرافيت توزع الحرارة بكفاءة ، ومنع النقاط الساخنة وتعزيز نمو البلورة الموحدة. وفي الوقت نفسه ، يعمل طلاء TAC كحاجز حراري ، ويحمي قلب الجرافيت من التعرض المباشر إلى درجات حرارة عالية والغازات التفاعلية. ينتج عن هذا التآزر بين المواد الأساسية والطلاء حلقة دليل لا يقاوم فقط الظروف القاسيةكذا النمو البلوريولكن أيضا يعزز الكفاءة الكلية وجودة العملية.

تعتبر حلقة Carbide المغلفة Carbide المغلفة في Vetek مكونًا أساسيًا في صناعة أشباه الموصلات ، وهي مصممة خصيصًا لنموبلورات كربيد السيليكون. يزداد تصميمه نقاط القوة في الجرافيت والكربيد tantalum لتقديم أداء استثنائي في بيئات عالية الحرارة وعالية الإجهاد. يضمن طلاء TAC القصص الكيميائية ، والمتانة الميكانيكية ، والاستقرار الحراري ، وكلها ضرورية لإنتاج بلورات SIC عالية الجودة. من خلال الحفاظ على سلامتها ووظائفها في ظل الظروف القاسية ، تدعم الحلقة النمو الفعال والخالي من بلورات SIC ، مما يساهم في تقدم أجهزة أشباه الموصلات عالية الطاقة وعالية التردد.

Vetek Semiconductor هي الشركة المصنعة الرائدة والمورد لـطلاء كربيد تانتالوم, طلاء كربيد السيليكونوالجرافيت الخاصفي الصين. لقد التزمنا منذ فترة طويلة بتوفير حلول متطورة للتكنولوجيا والمنتجات لصناعة أشباه الموصلات ، ونأمل بإخلاص أن تكون شريكك على المدى الطويل في الصين.

طلاء Tantalum Carbide (TAC)على المقطع العرضي المجهري：

نظرة عامة علىسلسلة صناعة رقاقة أشباه الموصلات：