حلقة غطاء من رقاقة الجرافيت المطلية بـ TaC

المزايا التقنية الأساسية

• مقاومة كيميائية استثنائية: تم تصميمه ليتحمل غازات الحفر القاسية (H₂، NH₃، HCl) عند درجات حرارة تتراوح بين 1200 درجة مئوية و2000 درجة مئوية.

• مطابقة التمدد الحراري: تضمن عملية CVD الخاصة بنا أن طلاء TaC يتمتع بمطابقة CTE (معامل التمدد الحراري) المحسّن مع ركيزة الجرافيت، مما يمنع التقشير أو التشقق أثناء التدوير الحراري السريع.

• تحكم فائق في الجسيمات: من خلال إغلاق الجرافيت المسامي تمامًا، تمنع طبقة TaC تساقط الجسيمات، مما يزيد بشكل مباشر من إنتاجية الرقاقة ويقلل وقت توقف المفاعل.

• عمر خدمة ممتد: سطح عالي المقاومة للتآكل ويتحمل دورات التنظيف المتكررة، مما يوفر تكلفة ملكية (CoO) أقل بكثير مقارنة بالبدائل غير المطلية أو المغطاة بـ SiC.

طلاء كربيد التنتالوم (TaC) على مقطع عرضي مجهري

معلمة المنتج الخاصة بحلقة غطاء رقاقة الجرافيت المطلية بـ TaC

لماذا تختار حلقات غطاء TaC الخاصة بنا؟

نحن ندرك أنه في مجال تصنيع أشباه الموصلات، فإن الموثوقية تساوي الربحية. تم اختبار حلقات غطاء رقاقة الجرافيت المطلية بـ TaC على دفعات للتأكد من كثافة الطلاء ونقائه. سواء كنت تنتقل من إنتاج الرقاقات مقاس 6 بوصات إلى 8 بوصات أو تعمل على تحسين عملية MOCVD ذات درجة الحرارة العالية، فإن حلقاتنا توفر الحماية الحرارية والكيميائية اللازمة للطبقة ذات المستوى العالمي.