كربيد السيليكون النمو المسامي الجرافيت

الجرافيت المسامي ذو النمو البلوري SiC عبارة عن مادة مصنوعة من الجرافيت المسامي مع بنية مسام يمكن التحكم فيها بشكل كبير. في معالجة أشباه الموصلات، فإنه يظهر التوصيل الحراري الممتاز، ومقاومة درجات الحرارة العالية والاستقرار الكيميائي، لذلك يستخدم على نطاق واسع في ترسيب البخار الفيزيائي، وترسيب البخار الكيميائي وغيرها من العمليات، مما يحسن بشكل كبير من كفاءة عملية الإنتاج وجودة المنتج، ليصبح أشباه الموصلات الأمثل المواد الهامة لأداء معدات التصنيع.

في عملية PVD ، عادة ما يتم استخدام الجرافيت المسامي النمو الكريستالي كدعم أو تركيبات الركيزة. تتمثل وظيفتها في دعم الرقاقة أو الركائز الأخرى وضمان استقرار المادة أثناء عملية الترسب. عادة ما تتراوح الموصلية الحرارية للجرافيت المسامي بين 80 واط/م · ك. .

بالإضافة إلى ذلك، فإن نطاق المسامية النموذجي للجرافيت المسامي لنمو كريستال SiC هو 20% ~ 40%. يمكن أن تساعد هذه الخاصية في تشتيت تدفق الغاز في حجرة التفريغ ومنع تدفق الغاز من التأثير على تجانس طبقة الفيلم أثناء عملية الترسيب.

في عملية CVD، يوفر الهيكل المسامي لـ SiC Crystal Growth Porous Graphite مسارًا مثاليًا للتوزيع الموحد للغازات. يتم ترسيب الغاز التفاعلي على سطح الركيزة من خلال تفاعل كيميائي في الطور الغازي لتشكيل طبقة رقيقة. تتطلب هذه العملية التحكم الدقيق في تدفق وتوزيع الغاز التفاعلي. يمكن لمسامية الجرافيت المسامية بنسبة 20% ~ 40% توجيه الغاز بشكل فعال وتوزيعه بالتساوي على سطح الركيزة، مما يحسن توحيد واتساق طبقة الغشاء المترسب.

يستخدم الجرافيت المسامي بشكل شائع كأنابيب فرن أو ناقلات الركيزة أو مواد القناع في معدات الأمراض القلبية الوعائية ، وخاصة في عمليات أشباه الموصلات التي تتطلب مواد نقاء عالية ولها متطلبات عالية للغاية للتلوث الجسيمي. في الوقت نفسه ، تتضمن عملية الأمراض القلبية الوعائية عادة درجات حرارة عالية ، ويمكن للجرافيت المسامي الحفاظ على ثباته الفيزيائي والكيميائي في درجات حرارة تصل إلى 2500 درجة مئوية ، مما يجعلها مادة لا غنى عنها في عملية CVD.

على الرغم من هيكله المسامي، لا يزال الجرافيت المسامي ذو النمو البلوري SiC يتمتع بقوة ضغط تبلغ 50 ميجا باسكال، وهو ما يكفي للتعامل مع الضغط الميكانيكي الناتج أثناء تصنيع أشباه الموصلات.

بصفته رائدة في منتجات الجرافيت التي يسهل اختراقها في صناعة أشباه الموصلات في الصين ، دعمت Veteksemi دائمًا خدمات تخصيص المنتجات وأسعار المنتجات المرضية. بغض النظر عن متطلباتك المحددة ، سنطابق أفضل حل للجرافيت المسامي ونتطلع إلى استشارةك في أي وقت.

الخواص الفيزيائية الأساسية لنمو الكريستال السامي الجرافيت:

متاجر منتجات الجرافيت المسامية من VeTek لأشباه الموصلات SiC Crystal Growth:

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات: