خاتم الختم المغلفة كذا لليبيتاكسي

ⅰ. ما هي خاتم الختم المطلي بالسكان؟

حلقة الختم المغلفة SIC (حلقة الختم المغلفة بالكربيد السيليكون) هي مكون ختم دقيق مصمم لبيئات عملية أشباه الموصلات عالية التآكل. جوهره هو من خلال عملية ترسب البخار الكيميائي (CVD) أو عملية ترسب البخار الفيزيائي (PVD) ، أو سطح الركيزة الجرافيت أو الكربون المركب سطحًا بالتساوي مع طبقة من طلاء كربيد السيليكون (SIC) عالي النقاء ، وتكوين كل من القوة الميكانيكية للركيزة وطلاء برامج الختم عالية الأداء.  

ⅱ. تكوين المنتج والتكنولوجيا الأساسية  

1. مادة الركيزة:

المادة المركب الجرافيت أو الكربون الكربون: تتمتع المادة الأساسية بميزة مقاومة الحرارة العالية (يمكنها الصمود أكثر من 2000 ℃) ومعامل منخفض للتوسع الحراري ، وبالتالي ضمان الاستقرار الأبعاد في ظل الظروف القصوى مثل ارتفاع درجة الحرارة.  

بنية الآلات الدقيقة: يمكن تكييف تصميم الحلقة الدقيقة تمامًا مع تجويف معدات أشباه الموصلات ، وبالتالي ضمان تسطيح سطح الختم ومحكم الهواء الجيد.  

2. الطلاء الوظيفي:  

طلاء SIC عالية النقاء (نقاء ≥99.99 ٪): عادة ما يكون سماكة التعاون 10-50μm ، من خلال عملية الأمراض القلبية الوعائية لتشكيل طبقة من بنية السطح غير الكثيفة غير المسامية ، مما يمنح سطح حلقة الختم الخمول الكيميائي الممتاز والخصائص الميكانيكية.

ⅲ. الخصائص والمزايا الفيزيائية الأساسية

تعتبر حلقات الختم المغلفة في Veteksemicon مثالية لعمليات Epitaxy شبه الموصلات بسبب أدائها الممتاز في ظل الظروف القاسية. فيما يلي الخصائص الفيزيائية المحددة للمنتج:

رابعا. التطبيقات الأساسية في معالجة epitaxy أشباه الموصلات  

يستخدم حلقة الختم المغلفة في SIC بشكل أساسي في MOCVD (ترسب البخار الكيميائي العضوي المعدني) و MBE (Epitaxy الحزمة الجزيئية) وغيرها من معدات العمليات ، وتشمل وظائف محددة:  

1.

تضمن حلقات الختم المطلية بـ SIC أن تحمل الأبعاد (عادةً ضمن ± 0.01 مم) من الواجهة مع غرفة المعدات (مثل شفة ، عمود الأساس) صغيرة قدر الإمكان عن طريق تخصيص بنية الحلقة. 

في الوقت نفسه ، يتم تشكيل حلقة الختم بدقة باستخدام أدوات آلة CNC لضمان ملاءمة موحدة حول محيط سطح التلامس بالكامل ، مما يلغي الفجوات المجهرية. هذا يمنع بشكل فعال تسرب غازات العملية (على سبيل المثال ، H₂ ، NH₃) ، يضمن نقاء بيئة نمو الطبقة الفوقية ، ويحسن العائد على الرقاقة.  

من ناحية أخرى ، يمكن أن يؤدي ضيق الغاز الجيد أيضًا إلى منع اقتحام الملوثات الخارجية (O₂ ، H₂O) ، وبالتالي تجنب العيوب بشكل فعال في الطبقة الفوقية (مثل الاضطرابات ، ودون المنشطات غير المتكافئة).  

2. دعم الختم الديناميكي ذو درجة الحرارة العالية  

اعتماد مبدأ التآزر التآزري المطبوع للركيزة: نظرًا لمعامل الركيزة الجرافيت المنخفضة للتوسع الحراري (CTE ≈ 4.5 × 10-⁶/° C) صغير جدًا ، وبالتالي في درجات الحرارة العالية الشديدة (＞ 1000) ، يكون التوسع هو 1/5 فقط من كمية الأختام المعدنية بشكل فعال. بالاقتران مع الصلابة الفائقة من طلاء SIC (HV2500 أو أكثر) ، يمكن أن يقاوم بشكل فعال الخدوش على سطح الختم الناجم عن الاهتزاز الميكانيكي أو تأثير الجسيمات ، والحفاظ على التسطيح المجهري.

خامسا توصيات الصيانة

1. تحقق بشكل منتظم من ارتداء سطح الختم (يوصى بفحص المجهر الضوئي الفصلي) لتجنب الفشل المفاجئ.  

2. استخدم عمال النظافة الخاصين (مثل الإيثانول اللامائي) لإزالة الرواسب ، حظر الطحن الميكانيكي لمنع الأضرار التي لحقت بطبقة SIC.