حلقة التركيز للحفر

تعتبر حلقات الحفر السيليكون أحادية البلورة مكونات أساسية في عمليات حفر أشباه الموصلات من خلال الحفاظ على استقرار بيئة البلازما ، وحماية المعدات والرقائق ، وتحسين استخدام الموارد والتكيف مع متطلبات العملية المتقدمة. يؤثر أدائها بشكل مباشر على عائد وتكلفة تصنيع الرقائق.

حلقة التركيز المحفورة ، القطب ، وما إلى ذلك (وحدة تحكم درجة حرارة الحافة) هي المواد الاستهلاكية الأساسية لضمان توحيد البلازما ، والتحكم في درجة الحرارة وتكرار العملية. يتم تجميع هذه المكونات بدقة في غرفة الفراغ في الأمراض القلبية الوعائية ، والحفر وأجهزة الأفلام وتحدد مباشرة دقة وإنتاجية الحفر من الحافة إلى مركز الرقاقة.

استجابة للطلب الصارم على خصائص المواد في عمليات التصنيع المتطورة ، يبتكر Veteksemi باستخدام السيليكون أحادي البلورة عالي النقاء مع مقاومة 10-20Ω · سم لتصنيع حلقات التركيز ودعم المواد الاستهلاكية. من خلال التحسين التعاوني لعلوم المواد والتصميم الكهربائي والديناميكا الحرارية ، يمكن لـ VeteKsemi تصنيع حلقات التركيز ودعم المواد الاستهلاكية. تتجاوز بشكل شامل حلول الكوارتز التقليدية لتحقيق تحسينات اختراق في طول العمر والدقة وفعالية التكلفة.

مقارنة المواد الأساسية وتحسين المقاومة

السيليكون أحادي البلورة VS. كوارتز

منتج Core Advantage

1. دقة عملية المستوى الذري

التحسين المقاومة + تلميع الدقة الفائقة (RA <0.1μm) يزيل التهمة الدقيقة والجسيمات لتلبية معايير SEMI F47.

إن فقدان العزل الكهربائي (TANδ <0.001) يتطابق بشكل كبير مع بيئة عازلة الرقاقة ، وتجنب تشويه المجال الكهربائي الحافة ودعم 39.5 ° ± 0.3 ° الحفر العميق العميق.

2. توافق النظام الذكي

مدمجة مع وحدة التحكم في درجة حرارة ETC ETC ، يتم تعديل تدفق هواء التبريد ديناميكيًا بواسطة خوارزمية الحرارية وخوارزمية AI لتعويض الانجراف الحراري للغرفة.

دعم شبكة مطابقة RF المخصصة ، مناسبة للآلات السائدة مثل AMAT Centura و LAM Research Kiyo و ICP/CCP Plasma Sources.

3. فعالية التكلفة الشاملة

عمر السيليكون أحادي البلورة أطول 275 ٪ من حياة الكوارتز ، ودورة الصيانة تزيد عن 3000 ساعة ، ويتم تخفيض تكلفة الملكية الشاملة (TCO) بنسبة 30 ٪.

خدمة تخصيص التدرج المقاومة (5-100Ω · CM) ، وهي مطابقة بدقة نافذة عملية العميل (مثل حفر مواد الفجوة الواسعة GAN/SIC).

تأثير المقاومة

شروط تجارية المنتج

كمية الحد الأدنى للطلب	1 مجموعة
سعر	الاتصال للاقتباس المخصص
تفاصيل التغليف	حزمة التصدير القياسية
موعد التسليم	وقت التسليم: 30-35 يومًا بعد تأكيد الطلب
شروط الدفع	ر/ر
القدرة على التوريد	600 مجموعة/شهر