CVD SiC المطلي بالجرافيت لحامل الرقاقة

1. مزايا المنتج

• مواد عالية النقاء:تعمل مادة الجرافيت من فئة أشباه الموصلات وهيكل الطلاء الكثيف من SiC على تقليل مخاطر التلوث وتحسين موثوقية متقبل الجرافيت المطلي بـ CVD SiC.
• التوحيد الحراري الممتاز:يوفر هيكل الجرافيت الأمثل وطلاء SiC نقلًا ثابتًا للحرارة وتحكمًا موحدًا في درجة حرارة الرقاقة.
• مقاومة كيميائية متفوقة:يوفر طلاء SiC الكثيف مقاومة قوية ضد غازات المعالجة والبيئات المسببة للتآكل.
• عمر الخدمة الطويل:تعمل الصلابة العالية ومقاومة التآكل على تحسين المتانة في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة.
• توليد الجسيمات المنخفضة:يقلل سطح CVD SiC الكثيف من إطلاق الجسيمات ويحسن موثوقية عملية الرقاقة.
• القدرة على التصميم حسب الطلب:متوفر بأحجام وهياكل وتكوينات مختلفة وفقًا لمتطلبات المعدات.

2. المواصفات الفنية

3. التطبيقات

• عملية صقل SiC:يتم استخدام مستقبل الجرافيت كحامل رقاقة في معدات الفوقية SiC، لدعم ركائز SiC أثناء النمو الفوقي عالي الحرارة.
• عملية نشوء السيليكون:يتم تطبيقه في مفاعلات السيليكون الفوقي لدعم الرقائق والحفاظ على ظروف حرارية مستقرة.
• MOCVD نبوءة:إن مستقبلات الجرافيت VETEK مناسبة لعمليات MOCVD، وLED epitaxy، وGaN epitaxy، وsilicon epitaxy، وغيرها من عمليات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب تجانسًا حراريًا ممتازًا وثباتًا كيميائيًا.
• معدات تصنيع أشباه الموصلات:متوافق مع مختلف المنصات الفوقية، بما في ذلك أفران LPE الأفقية، وAixtron، وNuFlare، ومعدات أشباه الموصلات ذات الصلة.

4. لماذا تختار فيتيك؟

توفر VETEK حلولًا مخصصة لحساسات الجرافيت المطلية بـ CVD SiC والتي تدمج بين تنقية الجرافيت، والتصنيع الدقيق، وطلاء CVD، وقدرات الفحص. تتميز منتجاتنا الممتصة للجرافيت من فئة أشباه الموصلات بدرجة نقاء عالية، وسمك طلاء موحد، وأداء حراري ممتاز، وعمر خدمة طويل لتطبيقات حاملات الرقاقة المتطلبة.