الحلقة المغلفة بالفرن العمودي

في الأفران العمودية، يعد استخدام الحلقات المطلية بـ SiC حلاً شائعًا، ويستخدم بشكل رئيسي في عمليات المعالجة الحرارية ذات درجة الحرارة العاليةرقاقات أشباه الموصلات. الحلقات المطلية بـ SiC للفرن العمودي عبارة عن مكونات عالية الأداء ومقاومة لدرجة الحرارة العالية تستخدم لدعم أو حماية الرقائق لضمان استقرار وموثوقية العملية.

وظائف الحلقة المطلية بالفرن العمودي

● وظائف

الدور الداعم. يستخدم لدعم الرقائق لضمان ثباتها ووضعها الدقيق في الأفران ذات درجة الحرارة العالية.

●  الحماية من التآكل

منع الغازات المسببة للتآكل أو المواد الكيميائية من تآكل المواد الأساسية.

●  تقليل التلوث

يمكن أن يمنع طلاء SIC عالي النقاء بشكل فعال سفك الجسيمات وتلوث الشوائب لضمان نظافة العملية.

●  مقاومة ارتفاع درجة الحرارة

الحفاظ على الخواص الميكانيكية الممتازة واستقرار الأبعاد في البيئات ذات درجات الحرارة المرتفعة (عادةً أكثر من 1000 درجة مئوية).

مميزات الحلقة المطلية بـ SiC للفرن العمودي

●  صلابة وقوة عالية

تتمتع مواد SiC بقوة ميكانيكية ممتازة ويمكنها تحمل الضغط الناتج عن درجات الحرارة العالية في الفرن.

●  الاستقرار الحراري الجيد

يساعد الموصلية الحرارية العالية لـ SIC ومعامل التمدد الحراري المنخفض على تقليل الإجهاد الحراري.

●  استقرار كيميائي قوي

يمكن أن تقاوم الطلاء SIC التآكل في البيئات المؤكسدة أو الحمضية أو القلوية.

●  انخفاض تلوث الجسيمات

يقلل السطح الأملس من إمكانية توليد الجسيمات ، وهو مناسب بشكل خاص لبيئة النهر فائقة لتصنيع أشباه الموصلات.

يستخدم للنشر والأكسدة والتليين وغيرها من العمليات في الأفران العمودية لدعم رقائق السيليكون ومنع تلوث الجسيمات أثناء المعالجة الحرارية.

مواد وعمليات التصنيع

●  الركيزة: مصنوعة من جرافيت SGL عالي الجودة، الجودة مضمونة.

●  الطلاء: يتم تطبيق طلاء كربيد السيليكون على سطح الجرافيت عن طريق ترسيب البخار الكيميائي (CVD).

● عادة ما يتراوح سمك الطلاء بين 50 ~ 500μm ، والذي يتم ضبطه وفقًا لمتطلبات الاستخدام.

●  يتميز طلاء SiC الخاص بترسيب البخار الكيميائي بدرجة نقاء وكثافة أعلى، ومتانة أفضل.

حدد المناسبةطلاء سيكرن وفقًا لقطر رقاقة السيليكون في الفرن ومواصفات الناقل. يمكننا تخصيصه لك. ارتفاع نقاء ، والطلاء الكثيف أكثر متانة وأقل تلوثا. باستبدال بشكل منتظم وفقا لتكرار متطلبات الاستخدام وعملية لتجنب التلوث أو فشل الدعم بسبب شيخوخة الطلاء.

بصفته أحد الموردين والمصنعين للمصنع المغطى بالفرن العمودي المحترف في الصين ، تلتزم منذ فترة طويلة بتقديم تكنولوجيا الأفران الرأسية المتقدمة وحلول المنتجات لصناعة أشباه الموصلات. نتطلع بصدق إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

CVD SIC Film بنية البلورة

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC

فيتيك لأشباه الموصلاتالمحلات التجارية الدائرية المطلية بالفرن العمودي: