VEECO MOCVD بروفيدنس

انها أشباه الموصلاتVEECO MOCVDWEFER SOSSOPSOR هو مكون حاسم ، مصمم بدقة باستخدام الجرافيت الفائق مع أطلاء كربيد السيليكون (SIC). هذاطلاء كذايوفر العديد من الفوائد ، وأبرزها تمكين النقل الحراري الفعال إلى الركيزة. يعد تحقيق التوزيع الحراري الأمثل عبر الركيزة أمرًا ضروريًا للتحكم الموحد في درجة الحرارة ، مما يضمن ترسيبًا ثابتًا وعالي الجودة من الأغشية ، وهو أمر بالغ الأهمية في تصنيع جهاز أشباه الموصلات.

المعلمات الفنية

مصفوفة خصائص المواد

المؤشرات الرئيسية حقوق النقل التقليدية القياسية

طهارة المواد الأساسية 6N الجرافيت 5N مصبوب

درجة مطابقة CTE (25-1400 ℃) Δα ≤0.3 × 10⁻⁶/ k Δα ≥1.2 × 10⁻⁶/ k

الموصلية الحرارية @800 ℃ 110 W/M · K 85 W/M · K

خشونة السطح (RA) ≤0.1μm ≥0.5μm

تحمل الحمض (الرقم الهيدروجيني = 1@80 ℃) 1500 دورة 300 دورة

إعادة بناء الميزة الأساسية

الابتكار الإدارة الحرارية

تقنية مطابقة CTE الذرية

اليابان Toyo Carbon Graphite/SGL الركيزة + طلاء SIC التدرج

انخفض إجهاد الدورة الحرارية بنسبة 82 ٪ (تم قياس 1400 ℃↔RT 500 دورات دون تكسير)

تصميم المجال الحراري الذكي

بنية تعويضات درجة الحرارة 12-يحقق ± 0.5 ℃ التوحيد على سطح الويفر φ200mm

الاستجابة الحرارية الديناميكية: التدرج درجة الحرارة ≤1.2 ℃/cm بمعدل تسخين 5 ℃/s

نظام الحماية الكيميائية
حاجز مركب ثلاثي

50μm كثيف طبقة الحماية الرئيسية

طبقة انتقالية نانوتاك (اختياري)

تكثيف تسلل مرحلة الغاز

تم التحقق من ASTM G31-21:

معدل التآكل قاعدة CL <0.003 مم/سنة

NH3 تعرض لمدة 1000H دون تآكل حدود الحبوب

نظام التصنيع الذكي

معالجة التوأم الرقمية

مركز تصنيع خمس محاور: دقة الموضع ± 1.5μm

فحص المسح الضوئي ثلاثي الأبعاد عبر الإنترنت: التحقق الكامل بنسبة 100 ٪ (وفقًا لـ ASME Y14.5)

عرض القيمة القائم على السيناريو

الجيل الثالث من الإنتاج الضخم لأشباه الموصلات

سيناريو التطبيق معلمات فوائد العملاء

GAN HEMT 6 Inch /150μm epitansial ثنائية الأبعاد تذبذب كثافة غاز الإلكترون <2 ٪

انحراف الجهد العتبة SIC MOSFET C ± 3 ٪ انحراف جهد العتبة بنسبة 40 ٪

ارتفع معدل توحيد الطول الموجي الصغرى LED ± 1.2 نانوم

تحسين تكلفة الصيانة

يتم تمديد فترة التنظيف بمقدار 3 مرات: HF: HNO ₃ = 1: 3 يتم دعم التنظيف العالي الكثافة

نظام التنبؤ بالحياة قطع الغيار: دقة خوارزمية الذكاء الاصطناعي بنسبة ± 5 ٪

VETEK Semiconductor Veoeco MOCVD SOSSEPSOR: