حاملة الرقائق المغلفة بـ SiC

لا يمكن فصل تصنيع الرقائق عن الرقائق. في عملية تحضير الرقاقة، هناك رابطان أساسيان: أحدهما هو تحضير الركيزة، والآخر هو تنفيذ العملية الفوقي. يمكن وضع الركيزة مباشرة في عملية تصنيع الرقاقة لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات، أو تحسينها بشكل أكبر من خلالعملية الفوقي. 

تتمثل Epitaxy في زراعة طبقة جديدة من البلورة المفردة على ركيزة بلورية واحدة تمت معالجتها بدقة (القطع ، الطحن ، التلميع ، إلخ). نظرًا لأن الطبقة البلورية الفردية المزروعة حديثًا ستتوسع وفقًا للمرحلة البلورية للركيزة ، فهي تسمى الطبقة الفوقية. عندما تنمو الطبقة الفوقية على الركيزة ، يسمى الكل بسكويت الفوقية. إدخال التكنولوجيا الفوقية يحل بذكاء العديد من العيوب من ركائز واحدة.

في فرن النمو الفوقي، لا يمكن وضع الركيزة بشكل عشوائي، و أناقلة الويفرمطلوب وضع الركيزة على حامل الرقاقة قبل إجراء الترسيب الفوقي على الركيزة. حامل الرقاقة هذا هو حامل الرقاقة المطلي بـ SiC.

عرض مستعرض لمفاعل التحصين الموسع

ذات جودة عاليةطلاء سيكيتم تطبيقه على سطح الجرافيت SGL باستخدام تقنية CVD:

بمساعدة طلاء SIC ، العديد من خصائصحامل الويفر المطلي بـ SiCتم تحسينها بشكل ملحوظ:

●  خصائص مضادة للأكسدة: يتمتع طلاء SiC بمقاومة أكسدة جيدة ويمكنه حماية مصفوفة الجرافيت من الأكسدة في درجات حرارة عالية وإطالة عمر الخدمة.

●  مقاومة درجات الحرارة العالية: نقطة انصهار طلاء SiC عالية جدًا (حوالي 2700 درجة مئوية). بعد إضافة طلاء SiC إلى مصفوفة الجرافيت، يمكنه تحمل درجات الحرارة العالية، وهو أمر مفيد للتطبيق في بيئة فرن النمو الفوقي.

●  مقاومة للتآكل: الجرافيت عرضة للتآكل الكيميائي في بعض البيئات الحمضية أو القلوية ، في حين أن طلاء SIC له مقاومة جيدة للتآكل الحمضي والقلوي ، بحيث يمكن استخدامه في أفران النمو الفوقي لفترة طويلة.

●  مقاومة التآكل: مادة SiC لديها صلابة عالية. بعد طلاء الجرافيت بمادة SiC، لا يتضرر بسهولة عند استخدامه في فرن النمو الفوقي، مما يقلل من معدل تآكل المواد.

تستخدم شركة VeTek Semiconductor أفضل المواد وتكنولوجيا المعالجة الأكثر تقدمًا لتزويد العملاء بمنتجات حاملات الرقاقات المطلية بـ SiC الرائدة في الصناعة. يلتزم الفريق الفني القوي لشركة VeTek Semiconductor دائمًا بتصميم المنتجات الأكثر ملاءمة وأفضل حلول الأنظمة للعملاء.

بيانات SEM لفيلم CVD SIC

انها أشباه الموصلاتمتاجر الناقل الويفر المغلفة كذا